ANT95L系列单轴直线直驱纳米定位工作台新万博英超h
描述
设计特点
- 在大型旅行格式中的纳米级性能
- 高分辨率(1 nm)，重复性(75 nm)，准确度(250 nm)
- 位置稳定性<1 nm
- 抗蠕动crossed-roller轴承
- 高动态性能
介绍
Aerotech公司的ANT95L系列阶段是世界上第一个纳米级定位系统，具有大于25毫米的行程。ANT95L和ANT95L- plus交叉滚轮工作台在速度、精度、分辨率、重复性、可靠性和尺寸方面都是同类产品中最好的，并有两个精度等级。这些线性级显示高达5 g的加速度，500毫米/秒的速度，增强的负载能力，并可与标准化，通用的基础安装模式，使他们在广泛的配置使用。
非接触直接传动
只有非接触式直接驱动技术才能为大规模生产精密设备提供所需的稳健、准确和高速定位。ANT95L级采用Aerotech首创的先进直接驱动技术，实现最高水平的定位性能。该直驱技术具有高性能、无齿槽、无接触、高速、高分辨率、高精度等特点。独特的驱动和轴承组合，包装在一个非常小的轮廓和足迹，提供了许多应用的优势，如高精度定位，磁盘驱动器的制造，光纤对准，光学延迟元件驱动，传感器测试和扫描过程，要求平稳和精确的运动。
灵活的系统设计
ANT95L系列具有通用的安装和桌面模式，便于系统集成。两个，三个或更多的轴可以很容易地组合为灵活的系统设计和多轴配置。
系统特点
杰出的精度、位置重复性和位置稳定性要求高的系统分辨率。ANT95L台的业界领先的1纳米最小步长增量提供了这种高水平的性能。Aerotech的直接驱动技术没有迟滞或反冲，可以实现精确和可重复的纳米级运动。
规范
机械规范
| 模型 | ant95l - 025 | ant95l - 050 | |
|---|---|---|---|
| 旅行 | 25毫米 | 50毫米 | |
| 精度(1) | 基地 | µm±2.5(±100µin) | µm±2.5(±100µin) |
| + | ±250海里(±10µin) | ±250海里(±10µin) | |
| 分辨率(最小增量运动) | 1海里(0.04µin) | 1海里(0.04µin) | |
| 重复性(双向)(1) | 基地 | ±100海里(±4µin) | ±100海里(±4µin) |
| + | ±75海里(±3µin) | ±75海里(±3µin) | |
| 重复性(单向) | ±25 nm(±1µin) | ±25 nm(±1µin) | |
| 平直度(1) | µm±1.0(±40µin) | µm±1.0(±40µin) | |
| 平面度(1) | µm±1.0(±40µin) | µm±1.0(±40µin) | |
| 球场 | 10弧秒 | 10弧秒 | |
| 卷 | 10弧秒 | 10弧秒 | |
| 偏航 | 5弧秒 | 5弧秒 | |
| 最大速度 | 500毫米/秒(20英寸/秒) | 500毫米/秒(20英寸/秒) | |
| 最大加速度 | 5g(空载) | 4g(空载) | |
| 速度稳定 | 典型性能见图 | ||
| 沉淀时间 | 典型性能见图 | ||
| 稳定的位置(2) | < 1 nm(< 0.04µin) | < 1 nm(< 0.04µin) | |
| 最大力量(连续) | 7.75 N | 9.5 N | |
| 负载能力(3) | 水平 | 5.0公斤(11磅) | 7.0 kg(15.4磅) |
| 一边 | 5.0公斤(11磅) | 5.0公斤(11磅) | |
| 移动质量 | 0.46 kg (1.0 lb) | 0.52 kg(1.1磅) | |
| 阶段质量 | 0.8公斤(1.8磅) | 1.2公斤(2.7磅) | |
| 材料 | 铝制车身/黑色硬漆面 | ||
| 平均故障间隔时间 | 30000小时 | ||
- 每一阶段认证。
- 位置抖动列表为3西格玛值。
- 列出了轴上加载的轴方向。
- 规格为单轴系统测量25毫米以上的桌面。组合多轴系统的性能依赖于负载和工作点。对于多轴或非标准应用，请咨询工厂。
- -PLUS需要使用Aerotech控制器。
| 模型 | ant95l - 075 | ant95l - 100 | |
|---|---|---|---|
| 旅行 | 75毫米 | 100毫米 | |
| 精度(1) | 基地 | µm±4.0(±160µin) | µm±5.0(±200µin) |
| + | ±275海里(±11µin) | ±275海里(±11µin) | |
| 分辨率(最小增量运动) | 1海里(0.04µin) | 1海里(0.04µin) | |
| 重复性(双向)(1) | 基地 | ±100海里(±4µin) | ±100海里(±4µin) |
| + | ±75海里(±3µin) | ±75海里(±3µin) | |
| 重复性(单向) | ±25 nm(±1µin) | ±25 nm(±1µin) | |
| 平直度(1) | µm±2.0(±80µin) | µm±2.5(±80µin) | |
| 平面度(1) | µm±2.0(±80µin) | µm±2.5(±80µin) | |
| 球场 | 10弧秒 | 10弧秒 | |
| 卷 | 10弧秒 | 10弧秒 | |
| 偏航 | 5弧秒 | 5弧秒 | |
| 最大速度 | 500毫米/秒(20英寸/秒) | 500毫米/秒(20英寸/秒) | |
| 最大加速度 | 3g(空载) | 3g(空载) | |
| 速度稳定 | 典型性能见图 | ||
| 沉淀时间 | 典型性能见图 | ||
| 稳定的位置(2) | < 1 nm(< 0.04µin) | < 1 nm(< 0.04µin) | |
| 最大力量(连续) | 9.5 N | 12.9 N | |
| 负载能力(3) | 水平 | 7.0 kg(15.4磅) | 7.0 kg(15.4磅) |
| 一边 | 5.0公斤(11磅) | 5.0公斤(11磅) | |
| 移动质量 | 0.72 kg(1.6磅) | 0.91 kg (2.0 lb) | |
| 阶段质量 | 1.64公斤(3.6磅) | 2.1 kg(4.6磅) | |
| 材料 | 铝制车身/黑色硬漆面 | ||
| 平均故障间隔时间 | 30000小时 | ||
- 每一阶段认证。
- 位置抖动列表为3西格玛值。
- 列出了轴上加载的轴方向。
- 规格为单轴系统测量25毫米以上的桌面。组合多轴系统的性能依赖于负载和工作点。对于多轴或非标准应用，请咨询工厂。
- -PLUS需要使用Aerotech控制器。
| 电气规格 | ANT95L |
|---|---|
| 驱动系统 | 无刷线性伺服电动机 |
| 反馈 | 非接触线性编码器 |
| 最大总线电压 | 40±直流 |
| 限位开关 | 5v，常闭 |
| 家里的开关 | 在中心附近 |
| 推荐的控制器 | ANT95L | |
|---|---|---|
| 多轴 | A3200 | Npaq混频器 Npaq MR-MXH Npaq ML-MXH |
| 系综 | Epaq MXH Epaq MR-MXH 合奏ML-MXH |
|
| 单轴 | 独奏者 | 独奏者ML-MXH |
- 线性放大器需要达到列出的规格。还有其他选择。
注:为保证延长的时间内达到和可重复性，环境温度必须控制在0.25℃/24小时内。如果这是不可能的，替代产品是可用的。更多信息请咨询Aerotech。
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步骤图 
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性能图表 
维
订购信息
ANT95L单轴直线直驱纳米定位台新万博英超h
旅游(必需)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -025年 | 25毫米的旅行 |
| -050年 | 50 mm旅行 |
| -075年 | 75毫米的旅行 |
| -100年 | 100毫米的旅行 |
安装板(可选)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| 国会议员 | 安装板 |
性能等级(必需)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| pl1 | 基本性能 |
| -PL2 | 高精度的性能,再加上 |
集成(必需)
Aerotech提供标准和定制集成服务，帮助您尽快使系统全面运行。以下标准集成选项可用于此系统。如果您不确定需要什么级别的集成，或者您希望系统提供定制集成支持，请咨询Aerotech。
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| 助教 | 集成—作为系统进行测试 将一组组件作为一个完整的系统进行测试、集成和编制文档(例如:驱动器、控制器和工作台)。这包括参数文件生成、系统调优和系统配置文档。 |
| tac | 集成——作为组件进行测试 将单个项目作为一起发布的离散组件进行测试和集成。这通常用于备用零件、替换零件或不会一起使用的项目。这些组件可能是，也可能不是更大系统的一部分。 |