ANT95XY系列二轴XY直接驱动纳米定位平台新万博英超h
描述
设计特点
- 集成的，低轮廓，XY线性电动机阶段
- 在大型旅行格式中的纳米级性能
- 高分辨率（1个纳米），重复性（75纳米）和准确度（250 nm）的
- 位置稳定性<1 nm
- 抗蠕变交叉滚子轴承
- 与直驱技术的高动态性能
- ULTRA性能等级选项
介绍
Aerotech的ANT系列平台是世界上第一个纳米级的定位系统与大于25毫米的行程。的ANT95-XY交叉滚子轴承，线性电机，双轴载物台提供的仅60mm的极低轮廓。阶段带有专有直接驱动电机技术，非接触式线性编码器，限制，集成电缆管理系统，和三个性能等级。
超精密的舞台设计
ANT95XY的设计允许关键元素，如正交性，直线度和平直度进行优化，导致阶段具有特殊的几何公差。Aerotech的直接驱动技术没有迟滞或反冲，能够在X和Y维度上实现精确和可重复的纳米级运动。两个旅行选项(25毫米x25毫米和50毫米x50毫米)都有60毫米的轮廓高度。综合电缆管理系统设计使用寿命长，阻力小。
非接触直接传动
只有非接触式直接驱动技术才能提供稳健、准确、高速的定位，这是大规模生产精密设备所必需的。ANT95XY级采用Aerotech首创的先进直接驱动技术，实现最高水平的定位性能。这种直接驱动技术具有高性能、无齿槽、无接触、高速、高分辨率、高精度等特点。这一独特的驱动和轴承组合，包装在一个非常小的轮廓和足迹，提供了许多应用程序的优势，如高精度定位，磁盘驱动器制作，光纤对准，光学延迟元件驱动，传感器测试，扫描过程，要求平滑和精确的运动。
多轴配置
该ANT95XY可以与其他的Aerotech ANT系列产品（垂直升降阶段，直接驱动的旋转开关，以及测角器）来创建独特的，高性能的，多轴系统相结合。
ULTRA性能等级选项
为了实现我们的多轴纳米定位系统尽可能高的系统精度，艾特已研制出一种先进的，动态轨迹校正系统。新万博英超h借此复杂的校准系统的优点，机械系统必须完全组装，功能测试，并在我们的最好的一流的计量实验室校准。纳米级系统的精度只能严格的环境条件下实现，用最好的测试设备校准，使用最高精度机械元件，并利用艾特航空业界领先的控制的ULTRA软件功能。通过实现与ANT95XY ULTRA动态轨迹校准，我们能够产生的±250纳米或更好保证二维精度。
在规格中提供的图说明一个标准ANT95XY和ULTRA版之间的性能差异。造成偏航期直线，正交性和精度误差几乎消除。
产品规格
机械规范
| ANT95XY-025 | ANT95XY-050 | ||||||
| 基础 | +(1、3) | 超(1、3) | 基础 | +(1、3) | 超(1、3) | ||
| 旅行 | 25毫米 | 50毫米 | |||||
| 精度(1、2) | ±2.5µm | ±250海里 | ±250海里 | ±2.5µm | ±250海里 | ±250海里 | |
| 分辨率(最小增量运动) | 1个纳米 | ||||||
| 重复性(双向)（2） | ±100海里 | ±75海里 | ±75海里 | ±100海里 | ±75海里 | ±75海里 | |
| 重复性(单向) | ±25nm的 | ±25nm的 | ±25nm的 | ±25nm的 | ±25nm的 | ±25nm的 | |
| 直线（2） | ±1.0μm的 | ±1.0μm的 | ±250海里 | ±1.0μm的 | ±1.0μm的 | ±250海里 | |
| 平面度（2） | ±1.0μm的 | ±1.0μm的 | ±1.0μm的 | ±1.0μm的 | ±1.0μm的 | ±1.0μm的 | |
| 球场 | 49µrad (10弧秒) |
49µrad (10弧秒) |
49µrad (10弧秒) |
49µrad (10弧秒) |
49µrad (10弧秒) |
49µrad (10弧秒) |
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| 滚 | 49µrad (10弧秒) |
49µrad (10弧秒) |
49µrad (10弧秒) |
49µrad (10弧秒) |
49µrad (10弧秒) |
49µrad (10弧秒) |
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| 偏航 | 24µrad (5弧秒) |
24µrad (5弧秒) |
24µrad (5弧秒) |
24µrad (5弧秒) |
24µrad (5弧秒) |
24µrad (5弧秒) |
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| 正交（3） | 49µrad (10弧秒) |
15µrad （3弧秒） |
4.8µrad （1弧秒） |
49µrad (10弧秒) |
15µrad （3弧秒） |
4.8µrad （1弧秒） |
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| 最大速度（4） | 为500mm / S（上轴） | ||||||
| 最大加速度（4） | 4.5克 - 45米/秒2（无负载）（上轴） | 2.75克 - 26米/秒2（无负载）（上轴） | |||||
| 速度稳定 | 典型性能见图 | ||||||
| 沉淀时间 | 典型性能见图 | ||||||
| 稳定的位置（5） | < 1海里 | ||||||
| 最大力量(连续) | 7.75ñ | 9.5ñ | |||||
| 装载能力（6） | 水平 | 4.0公斤 | 6.0公斤 | ||||
| 移动质量 | 上 | 0.45公斤 | 0.8公斤 | ||||
| 降低 | 1.13公斤 | 2.1公斤 | |||||
| 阶段质量 | 1.8公斤 | 3.2公斤 | |||||
| 材料 | 全铝车身/黑色硬膜完成 | ||||||
| 平均故障间隔时间 | 20000小时 | ||||||
- 为-Base和-PLUS选项规格是每轴线测量25毫米桌面的上方。为 - 超规格XY测量25毫米桌面的上方。
- 每个阶段的认证。
- 需要使用的Aerotech控制器。
- 要求选择适当的具有足够电压和电流的放大器。
- 位置抖动列表为3西格玛值。
- 列出了轴上加载的轴方向。
电气规格
| 驱动系统 | 无刷线性伺服电机 |
| 反馈 | 非接触线性编码器 |
| 最大总线电压 | 40±直流 |
| 限位开关 | 5 V，常闭 |
| 家里的开关 | 近中心 |
推荐控制器
| 多轴 | A3200 | Npaq混频器 Npaq MR-MXH NDRIVE ML-MXH |
| 系综 | Epaq MXH Epaq MR-MXH 合奏ML-MXH 整体实验室 |
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| 单轴 | 独奏者 | 独奏ML-MXH |
注：线性放大器需要达到上市规格。其他选项可供选择。
注意：为确保规格实现和可重复性的一段延长的时间，环境温度必须0.25℃/ 24小时内被控制。如果这是不可能的，替代的产品可供选择。请咨询艾特航空应用工程以获取更多信息。
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ANT95XY地块1 
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ANT95XY 2地块 
外形尺寸
订购信息
ANT95XY两轴XY直接驱动纳米定位阶段新万博英超h
旅游(必需)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -025年 | 25毫米的旅行 |
| -050年 | 50 mm旅行 |
安装板（可选）
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -MP | 安装板 |
性能等级(必需)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -PL1 | 基本性能 |
| -PL3 | 高精度的性能,再加上 |
| -PL4 | 超高精度高性能，超 |
集成（必需）
| Aerotech提供标准和定制集成服务，帮助您尽快使系统全面运行。以下标准集成选项可用于此系统。如果您不确定需要什么级别的集成，或者您希望系统提供定制集成支持，请咨询Aerotech。 | |
| μ-TAS | 集成—作为系统进行测试 将一组组件作为一个完整系统一起使用的测试、集成和文档化(例如:驱动器、控制器和阶段)。这包括参数文件生成、系统调优和系统配置文档。 |
| -TAC | 集成 - 测试的组件 测试项目和个人项目为船一起分立元件的集成。这通常用于备件，零件，或项目，将不能一起使用。这些组件可以是或可以不是一个较大系统的一部分。 |