ANT95R系列单轴旋转直接驱动纳米定位平台新万博英超h
描述
设计特点
- 0.01角秒分辨率
- 0.005弧秒定位稳定性
- 卓越的误差运动规格
- 多轴配置
- 高动态性能
- 无论有限和无限旋转
该ANT95R直接驱动旋转平台被设计成Aerotech的纳米迅科技产品系列的一部分。我们的旋转平台提供了前所未有的定位稳定性(0.005弧秒)和子0.01弧秒增量运动性能,并且在两个等级精度可供。
多轴功能
该ANT95R系列是专为兼容,并与Aerotech的ANT直线平台产品提供易于集成。总之,这些阶段提供的精度,稳定性和小尺寸性能能力几乎所有的纳米制造或检查应用程序。
动态性能
除了精度高的水平,这些系统提供高动态性能和吞吐量非常适合需要速度和精度的过程。
耐久力
该ANT95R阶段系列的设计在24/7的生产环境中运行。不同于其他旋转设备时,ANT95-R无需定期维护,确保多年无故障运行。
产品规格
ANT95-R系列规格
模型 | ANT95R- 020 |
ANT95R- 180 |
ANT95R- 360 |
|
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转角 | 20° | 180° | ±360°连续 | |
准确性(1) | 基础 | 10弧秒 | 10弧秒 | 10弧秒 |
加 | 3弧秒 | 3弧秒 | 3弧秒 | |
分辨率(最小增量运动) | 0.01弧秒 | 0.01弧秒 | 0.01弧秒 | |
双向重复性(1) | 1.5弧秒 | 1.5弧秒 | 1.5弧秒 | |
单向重复性 | 0.5弧秒 | 0.5弧秒 | 0.5弧秒 | |
倾斜误差运动 | 同步 | N / A | N / A | 10弧秒 |
异步 | N / A | N / A | 3弧秒 | |
轴向误差运动(1) | 同步 | N / A | N / A | 2微米 |
异步 | N / A | N / A | 0.5微米 | |
径向误差运动(1) | 同步 | N / A | N / A | 3微米 |
异步 | N / A | N / A | 1微米 | |
最大速度 | 20转 | 20转 | 200转 | |
最大加速度 | 400弧度/秒2 | 400弧度/秒2 | 400弧度/秒2 | |
定位稳定性(2) | 0.005弧秒 | 0.005弧秒 | 0.005弧秒 | |
光圈 | 11毫米 | 11毫米 | 11毫米 | |
最大转矩(连续) | 0.2 N-M | 0.2 N-M | 0.2 N-M | |
承载量(3) | 轴向 | 2.0公斤 | 2.0公斤 | 2.0公斤 |
径向 | 1.5公斤 | 1.5公斤 | 1.5公斤 | |
时刻 | 2 N-米 | 2 N-米 | 2 N-米 | |
转子惯量(空载) | 0.00065公斤-m的2 | 0.00066公斤-m的2 | 0.00069公斤-m的2 | |
级质谱 | 1.2公斤 | 1.2公斤 | 1.2公斤 | |
材料 | 全铝车身/黑色硬膜完成 | |||
MTBF(平均故障间隔时间) | 30000小时 |
- 每个阶段的认证。需要使用的Aerotech控制器。
- 在位抖动上市是3西格马值。
- 对于轴上载荷轴方向列出。
- 的规格是每个轴,测量25毫米桌面的上方。咨询工厂多轴或非标准应用。
- 所有错误动作规格在60rpm测得的。
- 对于高速运行的客户有效载荷必须平衡每ISO 1940 G1.0。
电气规格
驱动系统 | 无槽,无刷直接驱动旋转电机 |
反馈 | 非接触式旋转编码器 |
最大总线电压 | ±40伏直流电 |
限位开关 | 5 V,常闭 |
首页开关 | 近中心 |
推荐控制器
多轴 | A3200 | Npaq MXR Npaq MR-MXH NDRIVE ML-MXH |
合奏 | Epaq MXR Epaq MR-MXH 合奏ML-MXH |
|
单轴 | 独奏者 | 独奏ML-MXH |
- 线性放大器需要达到上市规格。其他选项可供选择。
注意:为确保规格实现和重复性在一段延长的时间,环境温度必须控制在内0.25ºC/ 24小时。如果这是不可能的替代产品可供选择。请咨询艾特航空以获取更多信息。
外形尺寸
订购信息
ANT95R单轴旋转直接驱动纳米定位阶段新万博英超h
旅游(必填)
选项 | 描述 |
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-360 | 持续运行 |
-20 | 有限行程,±10度 |
-180 | 有限行程,±90度 |
安装板(可选)
选项 | 描述 |
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-MP | 安装板 |
性能等级(必填)
选项 | 描述 |
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-PL1 | 基本性能 |
-PL2 | 高精度性能,PLUS |
集成(必需)
以帮助艾特航空提供标准和定制集成服务你尽快系统全面投入运作。以下标准的集成选项可用于这个系统。请咨询艾特如果您不确定需要什么样的集成水平,或者如果你希望你的系统定制集成支持。
选项 | 描述 |
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μ-TAS | 集成 - 测试的系统 测试,集成,和一组部件作为将要一起使用的完整体系的文件(例如:驱动器,控制器,和阶段)。这包括参数文件生成,系统调谐,以及系统结构的文档。 |
-TAC | 集成 - 测试的组件 测试项目和个人项目为船一起分立元件的集成。这通常用于备件,零件,或项目,将不能一起使用。这些组件可以是或可以不是一个较大系统的一部分。 |