描述

设计特点

• 在一个大的行程格式纳米性能（35毫米至160mm）
• 双平衡，低调的设计
• 高动态，非接触直接驱动
• 抗蠕变交叉滚子轴承
• 灵活的桌面和安装模式
• 高分辨率（2 nm）时，可重复性（75纳米）和准确度（275 nm）的
• 在位<2纳米的稳定性

介绍

Aerotech的ANT系列平台是世界上第一个纳米级的定位系统与大于25毫米的行程。设计用于垂直轴应用中，ANT130LZS系列交叉滚子阶段是最好的一流中结合速度，分辨率，精度，可重复性，可靠性和尺寸，并在两个精度等级可供。

该ANT130LZS阶段使用几乎无摩擦的双重制衡机制，保持性能水平，同时尽量减少电机发热。的抗衡是用户从0至14kg调节。双平衡设计最小化总体阶段高度并防止离轴由背压设计，平直度和角度误差产生不利影响施加的时刻。结果是定位和几何性能几乎等同于非平衡ANT阶段。

非接触直接驱动

只有非接触直接驱动技术提供必要的大规模生产精密仪器的可靠，精确和高速的定位。ANT130LZS阶段利用由艾特率先实现高精度的定位，磁盘驱动器制造中，纤维取向，光延迟元件致动时，传感器检测的最高性能水平先进的直接驱动技术，并扫描那些需要平滑和精确的运动过程。

灵活的系统设计

该ANT130LZS家庭拥有通用的安装和桌面模式，允许便于系统集成。两个，三个，或更多个轴可以实现灵活的系统设计和多轴配置可以容易地组合。

系统特点：

出色的精度，位置可重复性，以及在定位稳定性需要小的最小增量运动（机械分辨率）。该ANT130LZS阶段的行业领先的2纳米最小递增步长，实现性能如此高的级别卓越的定位稳定性是由高品质，抗蠕变，交叉滚子轴承的协助。在产品生命周期中的阶段提供了几乎免维护运行。Aerotech的直接驱动技术具有无磁滞或反弹，使精确和可重复的纳米级运动。

产品规格

ANT130LZS系列规格

1. 每个阶段的认证。
2. 需要具有足够的电压和电流的适当放大器的选择。
3. 在位置抖动列表3西格马值。
4. 对于轴上载荷轴方向列出。
5. 空气供应必须保持清洁，干燥至0°F露点，并过滤到0.25微米或更好;在纯度99.9％的氮气推荐。供给压力由有效载荷由所述阶段中进行的量来确定。
6. 规格是用于测量25毫米桌面上述单轴系统。合并的多轴系统的性能是有效载荷和与工作点依赖性的。咨询工厂多轴或非标准应用。
7. -PLUS需要使用的Aerotech控制器的

1. 每一级认证
2. 需要具有足够的电压和电流的适当放大器的选择。
3. 在位置抖动列表3西格马值。
4. 对于轴上载荷轴方向列出。
5. 空气供应必须保持清洁，干燥至0°F露点，并过滤到0.25微米或更好;在纯度99.9％的氮气推荐。供给压力由有效载荷由所述阶段中进行的量来确定。
6. 规格是用于测量25毫米桌面上述单轴系统。合并的多轴系统的性能是有效载荷和与工作点依赖性的。咨询工厂多轴或非标准应用。
7. -PLUS需要使用的Aerotech控制器。

电气规格

推荐控制器

外形尺寸

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订购信息

ANT130LZS单Z轴薄型直接驱动纳米定位阶段新万博英超h

旅游（必填）

连接器（必需）

注：-CN，选项不适用于使用总线系统电压大于80 V.

安装板（可选）

性能等级（必填）

集成（必需）