QFOCUS QF46Z单轴,显微物镜,压电纳米级新万博英超h
描述
设计特点
- 行进为100μm〜300μm的
- 高刚度和动力学导致杰出的步进定位和扫描性能
- 高精度,无摩擦弯曲指导
- 长设备生命周期
- 优越的定位分辨率和线性与直接计量电容传感器的选择
- 安装灵活性与各种螺纹适配器或安装孔的自定义安装布置
- 清除孔直径29毫米
艾特航空的QFOCUS®QF46Z压电纳米级串联新万博英超h使显微镜物镜和光学在高速与纳米级性能进行定位。可用在闭环行进为100μm和250μm的(120微米至300微米开环)时,QF46Z提供长行进而不牺牲动态操作和纳米精度。
该QF46是设计时考虑到下一代光学仪器和激光机。例如,可以QF46Z优于用较大和较重的较高的数值孔径(NA)的目标竞争力的产品由于其较高的固有刚度执行。该QF46Z非常适合需要高精度任何苛刻的应用光学和吞吐量与长行程。
精密的机械结构
QFOCUS QF46Z压电级由精密挠曲引导,通过有限元分析优化,以确保高刚度和长设备寿命。由此产生的设计提供了突出的刚度和谐振频率,使高处理吞吐量和快速闭环响应。
此外,QF46Z已被设计为提供良好的几何性能(直线度和角度误差)的关键显微镜和光学定位应用。
高分辨率和定位精度
QF46Z压电级具有闭环反馈(-C)选项,采用独特的电容传感器设计,亚纳米级分辨率和高线性度。电容式传感器直接测量定位架的输出,使其具有更高的精度和可重复性。
超精密控制
当与Aerotech的Q系列控制器和驱动器耦接,所述QF46Z演示亚纳米定位分辨率,定位稳定性(抖动),和高的定位带宽。软件选项,如Aerotech的动态控制工具箱和Motion设计软件包提供先进的主机且易于使用的工具,如学习控制,消谐,并指令整形,提供更好的跟踪误差和快人一步和结算的时间。OEM驱动器的选择也可以。
灵活性
该QFOCUS QF46Z是有螺纹的适配器,适合大多数显微镜和目标。显微镜转台安装允许在所期望的取向的QF46Z的容易和快速的定位。此外,在台本体螺纹孔提供一种用于在机或其它光学仪器的自定义接口的替代安装。所述QF46Z可具有明确的孔径最多29毫米。定制舞台设计,旅游,和螺纹适配器。
产品规格
机械规格
模型 | QF46Z-100 | QF46Z-250 | |
---|---|---|---|
闭环旅行 | 100微米 | 250微米 | |
开环行程,-30到+ 150v(1) | 120年μm | 300年µm | |
决议(2) | 闭环 | 0.30纳米 | 0.50纳米 |
开环 | 0.15纳米 | 0.2纳米 | |
线性(3,4) | 0.01% | 0.01% | |
双向重复性(5) | 为2.5nm | 3纳米 | |
俯仰/偏航 | 10μrad(2.1弧秒) | 10μrad(2.1弧秒) | |
平直度(XY) | 15海里 | 15海里 | |
刚度(运动方向)(6) | 1.20 N /微米 | 0.41 N /微米 | |
卸载共振频率(6) | 750赫兹 | 430赫兹 | |
谐振频率(150克负载)(6,7) | 260赫兹 | 180赫兹 | |
最大有效载荷(8) | 1公斤 | 1公斤 | |
最大加速度(卸载)(9) | 350米/秒2 | 275米/ s的2 | |
移动物体(无目标) | 56克 | 61克 | |
级质谱(10) | 0.21公斤 | 0.21公斤 | |
材料 | 阳极电镀铝(11) | ||
平均故障间隔时间 | 30000小时 |
- 值±10%。
- 有关分辨率的描述,请参阅Piezo工程参考部分4.2。
- 每个阶段(闭环反馈仅模型)认证。
- 有关线性和精度规范的描述,请参阅压电工程参考部分4.1。
- 指定为1个西格玛(标准偏差)的值(闭环反馈仅型号)。双向重复性的描述见Piezo工程参考部分4.3。
- 值的±20%。
- 加载的谐振可以为目标尺寸/几何形状的函数而变化。
- 轴上加载上市。
- 列出最大加速度是舞台机械限制。可实现的加速度是放大器的选择和移动参数的函数。
- 级质谱包括显微镜适配器(-MA1)和目标适配器(-OA1)。
- 外部元件为阳极化铝。用于螺纹适配器的黄铜。一些不锈钢部件用于内部结构。其他要求提供的材料。
电气规格
模型 | QF46Z-100 | QF46Z-250 | ||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
驱动系统 | 压电多层堆叠致动器 | |||||||
反馈 | 闭环:电容式传感器(-C) 开环:无( - ) |
|||||||
最大电压 | -30 V至+ 150V | |||||||
压电堆叠电容(1) | 1.6µF | 2.3μF |
- 值的±20%
推荐控制器
系综 | 乐团QLAB 合奏QDe 乐团QLE 合奏QL |
A3200 | Ndrive QLe Ndrive QL |
- 除非注明,否则QLAB、QDe或QLe驱动器必须符合所列规格。与QL驱动器一起使用时,请与Aerotech联系以了解具体规格。
外形尺寸
订购信息
QFOCUS™QF46Z压电纳米级新万博英超h
旅游(必填)
选项 | 描述 |
---|---|
-100 | 100年µm闭环旅行,120年µm开环旅行 |
-250 | 250年µm闭环旅行,300年µm开环旅行 |
反馈(可选)
选项 | 描述 |
---|---|
- c | 电容传感器的反馈 |
显微镜适配器(可选)
选项 | 描述 |
---|---|
-MA1 | W0.8 X 1/36” 显微镜适配器 |
-MA2 | M19 x 0.75显微镜适配器 |
马 | M25×0.75显微镜适配器 |
-MA4 | M26 x 0.75显微镜适配器 |
-MA5 | M27 x 0.75显微镜适配器 |
-MA6 | M28×0.75显微镜适配器 |
-MA7 | M32 x 0.75显微镜适配器 |
-MA8 | M26 X 1/36” 显微镜适配器 |
目标适配器(可选)
选项 | 描述 |
---|---|
-OA1 | W0.8 X 1/36” 的目标适配器 |
-OA2 | M19×0.75目标适配器 |
-OA3 | M25 x 0.75目标适配器 |
-OA4 | M26×0.75目标适配器 |
-OA5 | M27 x 0.75目标适配器 |
-OA6 | M28×0.75目标适配器 |
-OA7 | M32×0.75目标适配器 |
-OA8 | M26 x 1/36 "客观适配器 |
集成(必需)
Aerotech提供标准和定制集成服务,帮助您尽快使系统全面运行。以下标准集成选项可用于此系统。如果您不确定需要什么级别的集成,或者您希望系统提供定制集成支持,请咨询Aerotech。 | |
μ-TAS | 集成—作为系统进行测试 将一组组件作为一个完整的系统进行测试、集成和编制文档(例如:驱动器、控制器和工作台)。这包括参数文件生成、系统调优和系统配置文档。 |
-TAC | 集成 - 测试的组件 测试项目和个人项目为船一起分立元件的集成。这通常用于备件,零件,或项目,将不能一起使用。这些组件可以是或可以不是一个较大系统的一部分。 |