QNP2双轴，平行运动，XY压电纳米定位阶段新万博英超h

描述

设计特点

  • 前往240µm x 240µm
  • 大方形清晰孔径可达70毫米x70毫米
  • 经由并联运动学设计优异的多轴精度
  • 高刚度和动力学导致高工艺产量
  • 高精度，无摩擦弯曲指导
  • 专利设计提供了无与伦比的性能几何
  • 元件寿命长
  • 卓越的定位分辨率，线性，直接测量电容式传感器的选择
  • 开环和真空版本

Aerotech的QNP2系列XY，平行运动，压电定位阶段结合亚纳米级的分辨率，高动态，以及优良的几何性能在一个紧凑，薄型封装。所述QNP2系列压电阶段标配闭环大，清净孔径向上行进至200微米×200微米（开环行进到240微米×240微米）。该设计是理想的光学显微镜，扫描探针显微镜，X射线透射显微镜，或其它检查或制造在需要双面部分访问的应用程序。

高精度并行运动学设计

QNP2压电级采用了平行运动弯曲和计量设计，确保多轴精度的最高水平。QNP2级采用有限元优化的精密挠性，以确保高刚度和长设备寿命，提供一流的刚度和共振频率，实现高处理吞吐量和快速闭环响应。

采用正在申请专利的驱动器设计，同时仍保持阿贝符合计量系统的偏航误差最小化。这种设计导致整个XY旅游空间无与伦比的定位性能。

亚纳米级性能

所有QNP2 piezo级都有闭环反馈(-C)或开环反馈(无反馈)。独特的电容式传感器平行计量设计，测量定位架输出，直接实现亚纳米分辨率，线性误差低于0.01%，个位数纳米重复性。

超精密控制

当与Aerotech的q系列控制器和驱动器相结合时，QNP2级显示出亚纳米级的定位分辨率、位置稳定性(抖动)和高定位带宽。如Aerotech的动态控制工具箱和运动设计器包等软件选项提供了大量先进但易于使用的工具，如学习控制、谐波消除和命令整形，提供改进的跟踪错误和更快的步进和稳定时间。OEM驱动选项也可用。Aerotech的控制器架构可以轻松实现压电级、伺服、步进器和galvos之间的高速、严格控制的协调运动。

设计选项

一个可选的安装板提供直接安装到英制或公制试验板的光学表。实桌面选项也可以。QNP2压电阶段是在定制的材料，并根据要求的真空制备的版本。

QNP图表1
QNP表2
QNP图3
QNP图4
QNP2平仓单图

规范

机械规范

模型 qnp2 - 100 xya - 030 QNP2-100XYA-100 QNP2-150XYA-200
闭环行程(X X Y) 30μm x 30μm 100µm x 100µm 200µm x 200µm
开环旅游，-30〜+ 150V(1) 36微米×36微米的 120微米×120微米 240µm x 240µm
解析度(2) 闭环 0.1纳米 0.30纳米 0.40纳米
开环 0.03纳米 0.15纳米 0.20纳米
线性(3、4) 0.02% 0.01％ 0.01％
双向可重复性(5) 4纳米 1海里 1海里
平直度 25海里 10纳米 10纳米
二维平面度(大于XY行程) 15纳米 5纳米 15纳米
沥青 5μrad(1角秒) 1.5µrad(0.3弧秒) 1.5µrad(0.3弧秒)
偏航 5μrad(1角秒) 12µrad(2.5弧秒) 20 urad(4弧秒)
刚度（在运动的方向）(6) 33 N /μm的 2.1 N /微米 1.7 N /微米
空载谐振频率(6) 2400赫兹 565赫兹 375赫兹
谐振频率(200克负载)(6) 1725赫兹 380赫兹 290赫兹
最大有效载荷(7) 1公斤 1公斤 3公斤
最大加速度(卸载)(8) 400米/秒2 170米/秒2 40米/秒2
移动质量(卸载) 0.14公斤 0.14公斤 0.5公斤
阶段质量 0.36公斤 0.48公斤 1.2公斤
材料 阳极电镀铝（9） 阳极电镀铝（9） 阳极电镀铝（9）
MTBF（平均故障间隔时间） 30000小时 30000小时 30000小时
  1. 值的±10%。
  2. 请参阅分辨率的说明压电工程参考第4.2节。
  3. 通过每个阶段的认证(仅适用于闭环反馈模型)。
  4. 由外部测量装置测得的滑架之上约15毫米。见的线性度和精度规格说明压电技术参考4.1节。
  5. 指定为1西格玛(标准差)值(仅适用于闭环反馈模型)。看到压电工程参照第4.3节用于双向重复性的描述。
  6. 值±20％。
  7. 在轴线的载荷上市。
  8. 列出的最大加速度是阶段的机械限制。可实现的加速是放大器选择和运动参数的函数。
  9. 外部元件为阳极化铝。一些不锈钢部件用于内部结构。其他要求提供的材料。
  10. 除非特别说明，否则所列的规格是按轴排列的。

电气规格

模型 qnp2 - 100 xya - 030 QNP2-100XYA-100 QNP2-150XYA-200
驱动系统 压电多层堆叠器
反馈 闭环：电容传感器（-C）
开环:无(-)
最大电压 - 30v到+ 150v
压电堆栈电容(1) 4.6μF（每个轴） 3.2µF(每轴) 6.4 uF(每轴)
  1. 值±20％

推荐的控制器

合奏 合奏QLAB
乐团QDE
合奏QLe
乐团QL(1)
A3200 NDRIVE QLE
NDRIVE QL(1)
  1. 除非另有说明，需要QLAB，QDE或QLE驱动器来实现上市规格。联系艾特航空的规格与QL驱动器使用时。

维

订购信息

QNP2-100XYA二轴XYZ压电纳米定位阶段新万博英超h

选项 描述
qnp2 - 100 xya - 030 QNP2双轴XY压电nanopositioni新万博英超hng阶段,30μm x 30μm闭环旅行
QNP2-100XYA-100 QNP2双轴XY压电nanopositioni新万博英超hng阶段,100µm x 100µm闭环旅行
QNP2-150XYA-200 QNP2两轴XY压电纳米级，200微米×200新万博英超h微米的闭环行程

反馈(可选)

选项 描述
-C 电容传感器反馈

安装板(可选)

选项 描述
国会议员 为英制和公制光学平台表安装板

桌面（可选）

选项 描述
-TT1 固体度量桌面，盖孔

集成(必需)

以帮助艾特航空提供标准和定制集成服务你尽快系统全面投入运作。以下标准的集成选项可用于这个系统。请咨询艾特如果您不确定需要什么样的集成水平，或者如果你希望你的系统定制集成支持。
助教 集成 - 测试的系统
将一组组件作为一个完整系统一起使用的测试、集成和文档化(例如:驱动器、控制器和阶段)。这包括参数文件生成、系统调优和系统配置文档。
tac 集成——作为组件进行测试
将单个项目作为单独的组件一起进行测试和集成。这通常用于备件、替换件或不会一起使用的项目。这些组件可能是一个更大的系统的一部分，也可能不是。