QNP-XY系列二轴、XY、压电纳米定位级新万博英超h

描述

设计特点

  • 旅行范围从100至600μmμm可用
  • 长设备生命周期
  • 高精度无摩擦柔性制导系统
  • 卓越的定位分辨率和线性度0.007%,以直接测量电容式传感器的选择
  • 与其他QNP系列压电纳米定位安装兼容性
  • 开环和真空版本

艾特航空的QNP™在一个紧凑,高刚性包装的压电纳米级报价纳米级的新万博英超h性能 - 系列。各种行程(100微米至600微米)和反馈选项的使此应用范围从显微镜光学对准的理想解决方案。

高质量的包装

所述QNP压电级由正在使用有限元分析优化,以确保高的刚度和长元件寿命精确弯曲引导。将得到的设计提供了出色的刚性和共振频率实现高处理吞吐量和快速闭环响应。此外,集成的XY封装最小化阶段堆叠高度和运动质量,从而导致优异的静态和动态的多轴性能。

高分辨率和定位精度

所有QNP压电阶段都采用独特的电容式传感器设计,其允许亚纳米级的分辨率和高线性度的闭环反馈选项。电容传感器直接测量定位滑架的输出,从而实现更高的精度和可重复性。

超精密控制

当与Aerotech的Q系列控制器和驱动器耦接,所述QNP压电纳米级演示亚纳米定位分辨率和定位稳定性(抖动),和高的定位带宽。新万博英超h软件选项,如Aerotech的动态控制工具箱和Motion设计软件包提供先进的主机且易于使用的工具,如学习控制,消谐,并指令整形,提供更好的跟踪误差和快人一步和结算的时间。

利用Aerotech的FlashConfig特性实现了参数的自动识别和标定。舞台被自动识别,所有的操作参数包括轴校准数据都被上传至控制器,确保安全、准确和真实的“即插即用”操作。

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设计的灵活性

Aerotech的QNP压电阶段可与电容传感器反馈或无反馈(开环)。开环提供用于需要紧凑的尺寸,高动态,以及亚纳米级的定位分辨率的应用具有成本效益的选择,但不要求绝对的定位精度和可重复性。还可以使用开环设计,其中压电位置是通过一个外部反馈源(干涉仪,视觉系统,光检测器等)来控制。

一个可选的安装板提供直接安装到英国或公制面包板光学表。qnp系列还包括-L级和-Z级,在这两个级中,普通行程与适配器板一起安装。

所有QNP压电阶段是应要求在真空编写的版本。

规范

机械规范

模型 QNP40XY-100 qnp50xy - 250 QNP60XY-500
闭环旅游 100年µm 250微米 500年µm
开环旅游,-30〜+ 150V(1) 120微米 300微米 600年µm
解析度(2) 闭环 0.30纳米 0.50纳米 0.90纳米
开环 0.15纳米 0.20纳米 0.40纳米
线性(3、4) 0.01% 0.01% 0.007%
双向可重复性(5) 2海里 2海里 5纳米
俯仰/偏航 6微弧度(1.2弧秒) 6微弧度(1.2弧秒) 12µrad(2.5弧秒)
刚度(运动方向)(6) 1.05 N /µm 0.36 N /µm 0.24 N /微米
空载谐振频率(6) 顶轴 885赫兹 445赫兹 315赫兹
底轴 635赫兹 295赫兹 200赫兹
谐振频率
(50克负载)(6)
顶轴 495赫兹 305赫兹 240赫兹
底轴 335赫兹 240赫兹 170赫兹
最大加速度
(卸载)(7)
顶轴 600米/ s的2 370米/秒2 210米/ s的2
底轴 320米/ s的2 160米/秒2 90米/秒2
移动质量(卸载) 顶轴 42克 56克 98克
底轴 79克 126克 217克
最大有效载荷(8) 1公斤 1公斤 1公斤
阶段质量 0.11公斤 0.17公斤 0.27公斤
材料 阳极氧化铝(9)
MTBF(平均故障间隔时间) 30000小时
  1. 值的±10%。
  2. 看到压电工程参考4.2节用于描述分辨率。
  3. 通过各阶段的验证(仅适用于闭环反馈模型)。
  4. 用外部计量装置在车厢上方约15毫米处测量。看到压电工程参考章节4.1对于线性规范的说明。
  5. 指定为1西格玛(标准差)值(仅闭环反馈模型)。看到压电工程参考章节4.3用于描述双向重复性。
  6. 值±20%。
  7. 在轴线的载荷上市。
  8. 需要选择适当的放大器来实现列出的值。
  9. 外部元件为阳极化铝。一些不锈钢部件用于内部结构。其他要求提供的材料。
  10. 规格是测量中心和在一个高度约15毫米以上的输出车厢。

电气规格

模型 QNP40XY-100 qnp50xy - 250 QNP60XY-500
驱动系统 压电多层堆叠器
反馈 闭环:电容传感器(-C)
开环:None (-)
电压范围 - 30v到+ 150v
压电堆栈电容(1) 1.6μF 2.3µF 6.4µF

注:
1.值的±20%

推荐的控制器

合奏 合奏QLAB
合奏QDe
合奏QLe
乐团QL
A3200 NDRIVE QLE
NDRIVE QL

注:
1.除非注明,否则QLAB、QDe或QLe驱动器都需要达到所列规格。与QL驱动器一起使用时,请与Aerotech联系以了解具体规格。

  • QNP-XY坐标图
    QNP-XY线性误差图

订购信息

QNP-XY系列单轴,高动态压电纳米阶段新万博英超h

选项 描述
QNP40XY-100 qnp40xy - 100双轴XY压电nanopositio新万博英超hning阶段,100 x 100µm CL旅行
qnp50xy - 250 qnp50xy - 250双轴XY压电nanopositio新万博英超hning阶段,250 x 250µm CL旅行
QNP60XY-500 QNP60XY-500两轴XY压电纳米级,500×500微米新万博英超hCL旅行

反馈(可选)

选项 描述
-C 电容传感器反馈

安装板(可选)

选项 描述
国会议员 安装板适用于英制和米制的光学实验板

集成(必需)

以帮助艾特航空提供标准和定制集成服务你尽快系统全面投入运作。以下标准的集成选项可用于这个系统。请咨询艾特如果您不确定需要什么样的集成水平,或者如果你希望你的系统定制集成支持。
助教 集成 - 测试的系统
将一组组件作为一个完整的系统进行测试、集成和编制文档(例如:驱动器、控制器和工作台)。这包括参数文件生成、系统调优和系统配置文档。
tac 集成——作为组件进行测试
将单个项目作为一起发布的离散组件进行测试和集成。这通常用于备用零件、替换零件或不会一起使用的项目。这些组件可能是,也可能不是更大系统的一部分。

转接器板(作为单独的行项目订购)

选项 描述
美联社- qnp250xy - 100 z 适配器板,下:QNP250XY,上:QNP100Z
美联社- qnp500xy - 100 z - 250 z 适配器板,下:QNP500XY,上:QNP100Z/250Z