QFOCUS QF50Z单轴,显微物镜,压电纳米级新万博英超h
描述
设计特点
- 400年μm闭环旅行;450年μm开环旅行
- 杰出的步进 - 沉降和扫描性能
- 设计用于更大,高钠目标
- 卓越的定位分辨率和线性度
- 安装灵活性
- 直径29毫米清晰的孔径
艾特航空的QFOCUS®QF-50压电nanop新万博英超hositioning阶段使显微镜物镜和光学定位在一个大的旅行(400μm CL 450μm OL)不牺牲速度或纳米级性能。
的QF-50被设计成容纳较新的光学仪器和下一代激光微加工应用。由于高刚性的机械设计,QF-50可以超越竞争的压电扫描仪的产品具有较大的,较高的数值孔径(NA)的目标。的QF-50是理想的,要求需要高精度光学定位的应用程序和通过加上长行程。
精密的设计
所述QFOCUS QF-50压电阶段由使用有限元分析而优化的精度弯曲引导。将得到的设计提供了出色的刚性和共振频率实现高处理吞吐量和快速闭环响应。除了设计用于高动态,精心照料拍摄于QF-50挠曲轴承设计允许与直线度误差至40nm在整个行程范围内无与伦比的几何性能。
直接计量反馈
QF-50压电级具有闭环反馈(-C)选项,采用独特的电容传感器设计,允许亚纳米级分辨率和高线性度。与箔应变计或压阻传感器不同,电容传感器提供了定位架的直接测量,具有较高的精度和可重复性。
灵活和精确的控制
当与Aerotech的Q系列控制器和驱动器耦接,所述QF-50演示亚纳米定位分辨率和定位稳定性(抖动),同时保持高的定位带宽。软件选择的主机(动态控件工具箱和Motion设计)提供了许多先进且易于使用的工具,如学习控制,消谐,并指令整形,提供更好的跟踪误差和快人一步和结算的时间。OEM驱动器的选择也可以。
越来越多的灵活性
该QFOCUS QF-50可与螺纹接头,适合大多数显微镜和目标。显微镜转台安装允许快速和QF-50的简单的定位在任何期望的取向。此外,在台本体螺纹孔提供一种用于在机或其它光学仪器的自定义接口的替代安装。的QF-50是可提供为29mm作为标准的清净孔径。定制舞台设计,旅游,和螺纹适配器。
产品规格
机械规格
模型 | QF50Z-400 | |
---|---|---|
闭环旅行 | 400年μm | |
开环行程,-30到+ 150v(1) | 450年μm | |
决议(2) | 闭环 | 0.9纳米 |
开环 | 0.4纳米 | |
线性(3,4) | 0.01% | |
双向重复性(5) | 4纳米 | |
球场 | 15微弧度(3弧秒) | |
偏航 | 15微弧度(3弧秒) | |
直线度(X,Y) | 40纳米 | |
刚度(运动方向)(6) | 0.41 N /微米 | |
卸载共振频率(6) | 400赫兹 | |
谐振频率(150克负载)(6,7) | 180赫兹 | |
最大有效载荷(8) | 1公斤 | |
最大加速度(卸载)(9) | 235米/秒2 | |
移动物体(无目标) | 75克 | |
级质谱(10) | 0.21公斤 | |
材料 | 阳极电镀铝/铜(11) | |
平均故障间隔时间 | 30000小时 |
- 值±10%。
- 有关分辨率的描述,请参阅Piezo工程参考部分4.2。
- 通过各阶段的验证(仅适用于闭环反馈模型)。
- 有关线性和精度规范的描述,请参阅压电工程参考部分4.1。
- 指定为1个西格玛(标准偏差)的值(闭环反馈仅型号)。双向重复性的描述见Piezo工程参考部分4.3。
- 值的±20%。
- 加载的谐振可以为目标尺寸/几何形状的函数而变化。
- 轴上加载上市。
- 列出最大加速度是舞台机械限制。可实现的加速度是放大器的选择和移动参数的函数。
- 级质谱包括显微镜适配器(-MA1)和目标适配器(-OA1)。
- 外部元件为阳极化铝。用于螺纹适配器的黄铜。一些不锈钢部件用于内部结构。其他要求提供的材料。
电气规格
模型 | QF50Z-400 |
---|---|
驱动系统 | 压电多层堆叠致动器 |
反馈 | 闭环:电容式传感器(-C) 开环:无( - ) |
最大电压 | -30 V至+ 150V |
压电堆叠电容(1) | 6.8μF |
- 值的±20%
推荐控制器
系综 | 乐团QLAB 合奏QDe 乐团QLE 合奏QL |
A3200 | Ndrive QLe Ndrive QL |
- 除非注明,否则QLAB、QDe或QLe驱动器必须符合所列规格。与QL驱动器一起使用时,请与Aerotech联系以了解具体规格。
外形尺寸
订购信息
QFOCUS™QF-50压电纳米级新万博英超h
旅游(必填)
选项 | 描述 |
---|---|
-400年 | 400年µm闭环旅行,460年µm开环旅行 |
反馈(可选)
选项 | 描述 |
---|---|
- c | 电容传感器的反馈 |
显微镜适配器(可选)
选项 | 描述 |
---|---|
-MA1 | W0.8 X 1/36" 显微镜适配器 |
-MA2 | M19 x 0.75显微镜适配器 |
马 | M25×0.75显微镜适配器 |
-MA4 | M26 x 0.75显微镜适配器 |
-MA5 | M27 x 0.75显微镜适配器 |
-MA6 | M28×0.75显微镜适配器 |
-MA7 | M32 x 0.75显微镜适配器 |
-MA8 | M26 X 1/36" 显微镜适配器 |
目标适配器(可选)
选项 | 描述 |
---|---|
-OA1 | W0.8 x 1/36"目标适配器 |
-OA2 | M19×0.75目标适配器 |
-OA3 | M25 x 0.75目标适配器 |
-OA4 | M26×0.75目标适配器 |
-OA5 | M27 x 0.75目标适配器 |
-OA6 | M28×0.75目标适配器 |
-OA7 | M32×0.75目标适配器 |
-OA8 | M26 X 1/36" 的目标适配器 |
集成(必需)
Aerotech提供标准和定制集成服务,帮助您尽快使系统全面运行。以下标准集成选项可用于此系统。如果您不确定需要什么级别的集成,或者您希望系统提供定制集成支持,请咨询Aerotech。 | |
μ-TAS | 集成—作为系统进行测试 将一组组件作为一个完整的系统进行测试、集成和编制文档(例如:驱动器、控制器和工作台)。这包括参数文件生成、系统调优和系统配置文档。 |
-TAC | 集成 - 测试的组件 测试项目和个人项目为船一起分立元件的集成。这通常用于备件,零件,或项目,将不能一起使用。这些组件可以是或可以不是一个较大系统的一部分。 |