QNP-L系列单轴线性压电纳米级新万博英超h

描述

设计特点

  • 旅行范围从100至600µmµm可用
  • 长设备生命周期
  • 高精度无摩擦柔性制导系统
  • 优越的定位分辨率和线性0.007%与直接计量电容传感器的选择
  • 与其他QNP系列压电纳米定位安装兼容性
  • 开环和真空版本
Aerotech的QNP™系列压电纳米定位级提供了亚纳米级的紧凑新万博英超h、高刚度封装性能。各种旅行(100µm 600µm)和反馈选项使这个理想解决方案应用程序从显微镜光学对齐。

高质量的包装

所述QNP压电级由正在使用有限元分析优化,以确保高的刚度和长元件寿命精确弯曲引导。将得到的设计提供了出色的刚性和共振频率实现高处理吞吐量和快速闭环响应。此外,这些阶段已经被设计为提供优良的几何性能(平直度和角度误差),而在同一时间最小化总体阶段封装尺寸。

高分辨率和定位精度QNP-L-Figure-1

所有QNP压电阶段都采用独特的电容式传感器设计,其允许亚纳米级的分辨率和高线性度的闭环反馈选项。电容式传感器测量的定位滑架的输出直接使更高的精度和可重复性。

超精密控制

当与Aerotech的Q系列控制器和驱动器耦接,所述QNP压电纳米级演示亚纳米定位分辨率和定位稳定性(抖动),和高的定位带宽。新万博英超h软件选项,如Aerotech的动态控制工具箱和Motion设计软件包提供先进的主机且易于使用的工具,如学习控制,消谐和指令整形,提供更好的跟踪误差和快人一步和结算的时间。

利用Aerotech的FlashConfig特性实现了参数的自动识别和标定。舞台被自动识别,所有的操作参数包括轴校准数据都被上传至控制器,确保安全、准确和真实的“即插即用”操作。

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设计的灵活性

Aerotech的QNP压电阶段可与电容传感器反馈或无反馈(开环)。开环提供用于需要紧凑的尺寸,高动态和亚纳米定位分辨率的应用具有成本效益的选择,但不要求绝对的定位精度和可重复性。还可以使用开环设计,其中压电位置是通过一个外部反馈源(干涉仪,视觉系统,光检测器等)来控制。

一个可选的安装板提供直接安装到英制或公制试验板的光学表。所述QNP系列还包括XY和Z阶段,其中共同行进与转接板一起安装。

所有QNP压电阶段是应要求在真空编写的版本。

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规范

机械规范

模型 QNP40L-100 qnp50l - 250 QNP60L-500
闭环旅行 100年µm 250年µm 500年µm
开环旅游,-30〜+ 150V(1) 120微米 300微米 600年µm
解析度(2) 闭环
(集成反馈)
0.30纳米 0.50纳米 0.90纳米
开环 0.15纳米 0.20纳米 0.40纳米
线性(3)(4) 0.01% 0.01% 0.007%
双向可重复性(5) 1海里 1海里 3海里
俯仰/偏航 6微弧度(1.2弧秒) 6微弧度(1.2弧秒) 12µrad(2.5弧秒)
刚度(运动方向)(6) 1.25 N /µm 0.40 N /µm 0.27 N /µm
空载谐振频率(6) 1300赫兹 475赫兹 350赫兹
谐振频率(50克负荷)(6) 650赫兹 325赫兹 260赫兹
最大有效载荷(7) 1公斤
最大加速度(卸载)(8) 900米/秒2 420米/秒2 210米/ s的2
阶段质量 0.06公斤 0.09公斤 0.14公斤
材料 阳极氧化铝(9)
MTBF(平均故障间隔时间) 30000小时
  1. 值的±10%。
  2. 有关分辨率的描述,请参阅Piezo工程参考部分4.2。
  3. 通过各阶段的验证(仅适用于闭环反馈模型)。
  4. 见线性度指标的描述压电工程参考4.1节。
  5. 指定为1西格玛(标准差)值(仅闭环反馈模型)。双向重复性的描述见Piezo工程参考部分4.3。
  6. 值±20%。
  7. 轴上加载上市。
  8. 需要选择适当的放大器来实现列出的值。
  9. 外部元件为阳极化铝。有些内部部件是不锈钢的。其他要求提供的材料。
  10. 规格是测量中心和在一个高度约15毫米以上的输出车厢。

电气规格

模型 QNP40L-100 qnp50l - 250 QNP60L-500L
驱动系统 压电多层堆叠器
反馈 闭环:集成电容传感器(-C)
开环:None (-)
电压范围 - 30v到+ 150v
压电堆栈电容(1) 1.6μF 2.3µF 6.4µF
    1.值±20%。

推荐的控制器

合奏 合奏QLAB
合奏QDe
合奏QLe
合奏QL
A3200 Ndrive QLe
NDRIVE QL
  1. 除非另有说明,需要QLAB,QDE或QLE驱动器来实现上市规格。联系艾特航空的规格与QL驱动器使用时。
  • QNP-L配接板

订购信息

QNP-L系列单轴压电纳米阶段新万博英超h

选项 描述
QNP40L-100 qnp40l - 100单轴线性压电nanopositioning阶段,新万博英超h100年µm CL旅行
qnp50l - 250 QNP50L-250单轴线性压电纳米级,为250μmCL旅行新万博英超h
QNP60L-500 qnp60l - 500单轴线性压电nanopositioning阶段,新万博英超h500年µm CL旅行

反馈(可选)

选项 描述
-C 电容传感器反馈

安装板(可选)

选项 描述
国会议员 安装板适用于英制和米制的光学实验板

集成(必需)

以帮助艾特航空提供标准和定制集成服务你尽快系统全面投入运作。以下标准的集成选项可用于这个系统。请咨询艾特如果您不确定需要什么样的集成水平,或者如果你希望你的系统定制集成支持。
助教 集成 - 测试的系统
将一组组件作为一个完整的系统进行测试、集成和编制文档(例如:驱动器、控制器和工作台)。这包括参数文件生成、系统调优和系统配置文档。
tac 集成——作为组件进行测试
将单个项目作为一起发布的离散组件进行测试和集成。这通常用于备用零件、替换零件或不会一起使用的项目。这些组件可能是,也可能不是更大系统的一部分。

转接器板(作为单独的行项目订购)

选项 描述
AP-QNP40L-100 转接板,QNP40L-100
AP-QNP50L-250 适配器板,QNP50L-250到40L-100/50L-250
美联社- qnp60l - 500 适配器板,QNP60L-500至40L-100/50L-250/60L-500