QNPHD系列单轴，高动态压电纳米阶段新万博英超h

描述

设计特点

  • 闭环为10μm行进至40μm
  • 直接驱动促动可实现快速的响应时间和更高的吞吐量流程
  • 高精度，无摩擦弯曲指导
  • 元件寿命长
  • 卓越的定位分辨率，线性，直接测量电容式传感器的选择
  • 开环和真空版本

艾特航空的QNPHD压电纳米级提新万博英超h供在一个紧凑的，高硬度包两者的阶段和致动器的优点。与直接测量，电容传感器反馈选项，高谐振频率和高负载容量，QNPHD是理想的宽范围的高速和高精度的应用，如扫描探针显微镜，盘驱动器的测试，或半导体晶片关节运动。

以严格的精度快速响应

QNPHD

该QNPHD采用直接驱动致动设计和优化的结构使毫秒级的响应和移动和结算的时间。

通过正在使用有限元分析优化，以确保高的刚度和长元件寿命，所述QNP精度弯曲引导HD提供高动态，同时保持临界纳米定位应用优良的几何性能（平直度和角度误差）。新万博英超h

高分辨率和定位精度

该QNPHD具有使用独特电容传感器设计，其允许亚纳米分辨率和个位数纳米线性误差的闭环反馈（-C）选项。电容式传感器测量的定位滑架的输出直接使更高的精度和可重复性。

超精密控制

当与Aerotech的Q-系列控制器和驱动器，所述QNPHD演示亚纳米定位分辨率和高定位的带宽。软件选项，如Aerotech的动态控制工具箱和Motion设计软件包提供先进的主机且易于使用的工具，如学习控制，消谐，并指令整形，提供更好的跟踪误差和快人一步和结算的时间。

自动参数校准鉴定是使用Aerotech的FlashConfig功能来完成。该级被自动识别和所有的操作参数，包括轴的校准数据被上传到控制器确保安全，准确，和真正的“插头和播放”操作。

了解更多关于我们的控制和软件这里。

安装灵活

该QNPHD可用与安装特征对水平和垂直方向沿着从后面和侧面的电缆出口选项。这种灵活性允许用户定向和打包最优化布置中，而不阶段设计各种适配器板和括号内增加尺寸和设计复杂性。

一个可选的安装板提供直接安装到英制或公制光学平台表。定制设计和真空准备的版本可供索取。

产品规格

机械规格

模型 QNPHD30L-10 QNPHD30L-25 QNPHD30L-40
闭环旅游 10微米 25微米 40微米
开环旅游，-30〜+ 150V（1） 为12μm 32微米 50微米
解析度（2） 闭环 为0.05nm 0.10纳米 0.10纳米
开环 0.02纳米 0.03纳米 为0.05nm
线性（3,4） 0.02％ 0.02％ 0.02％
双向重复性（5） 1个纳米 1个纳米 2纳米
俯仰/偏航 5微弧度（1.0弧秒） 5微弧度（1.0弧秒） 7.5微弧度（1.5弧秒）
刚度（在运动的方向）（6） 60 N /微米 31 N /μm的 29 N /μm的
空载谐振频率（6） 7000赫兹 4100赫兹 3500赫兹
谐振频率（200克负荷）（6） 2500赫兹 1900赫兹 1700赫兹
最大有效载荷（7） 横 2公斤 2公斤 2公斤
垂直 7公斤 10公斤 10公斤
最大加速度（空载）（8）
 2250米/ s的2 1250米/ s的2 750米/ s的2
移动质量（空载） 39克 54克 77克
级质谱 0.11公斤 0.15公斤 0.20公斤
材料 不锈钢
MTBF（平均故障间隔时间） 30000小时
  1. 值±10％。
  2. 请参阅分辨率的说明压电工程参考第4.2节。
  3. 每个阶段（闭环反馈仅模型）认证。
  4. 由外部测量装置测得的滑架之上约15毫米。见线性度指标的描述压电工程参考4.1节。
  5. 指定为1个西格玛（标准偏差）的值。见压电工程参考4.3节的双向重复性的描述。
  6. 值±20％。
  7. 在轴线的载荷上市。
  8. 需要合适的放大器来实现所列值的选择。

电气规格

模型 QNPHD30L-10 QNPHD30L-25 QNPHD30L-40
驱动系统 压电多层堆叠器
反馈 闭环：集成电容传感器（-C）
开环：无（ - ）
电压范围 -30 V至+ 150V
压电堆叠电容（1） 0.7μF 2.3μF 3.4μF
    1.值±20％。

推荐控制器

合奏 乐团QLAB
乐团QDE
乐团QLE
乐团QL
A3200 NDRIVE QLE
NDRIVE QL

1.除非指出，需要QLAB，QDE或QLE驱动器来实现所列出的规格。联系艾特航空的规格与QL驱动器使用时。

外形尺寸

订购信息

QNPHD30L单轴，高动态压电纳米阶段新万博英超h

旅游（必填）

选项 描述
-10 为10μm闭环旅行，12μm的开环行程
-25 为25μm闭环旅行，32微米开环行程
-40 为40μm闭环行程，为50μm开环行程

反馈（可选）

选项 描述
-C 电容传感器反馈

电缆出口（必填）

选项 描述
-1 后部电缆出口
-5 左侧电缆出口

安装板（可选）

选项 描述
-MP 为英制和公制光学平台表安装板

集成（必需）

以帮助艾特航空提供标准和定制集成服务你尽快系统全面投入运作。以下标准的集成选项可用于这个系统。请咨询艾特如果您不确定需要什么样的集成水平，或者如果你希望你的系统定制集成支持。
μ-TAS 集成 - 测试的系统
测试，集成，和一组部件作为将要一起使用的完整体系的文件（例如：驱动器，控制器，和阶段）。这包括参数文件生成，系统调谐，以及系统结构的文档。
-TAC 集成 - 测试的组件
测试项目和个人项目为船一起分立元件的集成。这通常用于备件，零件，或项目，将不能一起使用。这些组件可以是或可以不是一个较大系统的一部分。