QNP3三轴，并联运动，XYZ压电纳米阶段新万博英超h
描述
设计特点
- 前往240μm x 240 x 25μmμm
- 大方形的通光孔径高达66毫米×66毫米
- 通过并行运动学设计优异的多轴精度
- 高刚度和动力学导致高的过程吞吐量
- 高精度无摩擦挠性制导
- 正在申请专利的设计提供了无与伦比的几何性能
- 长设备生命周期
- 优越的定位分辨率和线性与直接计量电容传感器的选择
- 开环式和真空式
Aerotech的QNP3系列的XYZ并联运动压电定位阶段，在一个紧凑的低姿态封装中，结合了亚纳米分辨率、高动力学和优异的几何性能。QNP3系列压电阶段标准配备一个大的光圈与闭环旅行200µm x 200µm x 20µm(开环前往240µm x 240µm x 25µm)。该设计是理想的光学和扫描探针显微镜或其他检查或制造应用的双边部分访问需要与三个自由度的操作。
精密并行结构设计
所述QNP3压电阶段采用的平行运动的挠曲和计量设计确保多轴准确性的最高水平。通过精密挠曲其是FEA-优化，以确保高的刚度和长元件寿命的指导下，QNP3阶段提供最佳的类的刚性和共振频率实现高处理吞吐量和快速闭环响应。
使用正在申请专利的驱动设计，X和Y偏航误差最小化，同时仍然保持abbe兼容的计量系统。这种设计的结果，在整个XY旅行空间的定位性能无与伦比。z轴驱动器和电容传感器的设计是为了在垂直方向上以最小的几何误差提供符合abbe的反馈。
事实上性能
所有QNP3压电级均可采用闭环反馈(-C)或开环反馈(无反馈)。独特的电容式传感器平行计量设计，测量定位架的输出，直接实现亚纳米分辨率，线性误差低于0.01%，个位数纳米重复性。
超精密控制
当与Aerotech的Q系列控制器和驱动器耦接，所述QNP3阶段表现出亚纳米定位分辨率，定位稳定性（抖动），和高的定位带宽。软件选项，如Aerotech的动态控制工具箱和Motion设计软件包提供先进的主机且易于使用的工具，如学习控制，消谐，并指令整形，提供更好的跟踪误差和快人一步和结算的时间。OEM驱动器的选择也可以。Aerotech的控制器结构容易实现高速，压电阶段，伺服装置，步进机，和检流计之间严格控制的协调运动。
设计选项
一个可选的安装板提供了直接安装英制或公制试验板的光学表。实桌面选项也可以。QNP3压电阶段是在定制的材料，并根据要求的真空制备的版本。
产品规格
机械规格
| 模型 | QNP3-100XYAZ-030-10 | qnp3 - 100 xyaz - 100 - 10 | QNP3-150XYAZ-200-20 | |
|---|---|---|---|---|
| 闭环旅游（X X Y X Z） | 30微米×30微米×10微米的 | 100微米x 100微米×10微米的 | 200微米×200微米×20微米 | |
| 开环行程，-30到+ 150v（1） | 36μm 36μm x 12μm | 120µm x 120 x 12µmµm | 240微米×240微米×25微米 | |
| 决议（2） | 闭环 | 0.1纳米（XY）;为0.15nm（Z） | 0.30纳米（XY）;为0.15nm（Z） | 0.4纳米（XY），0.15纳米（Z） |
| 开环 | 0.03纳米（XY）;0.05纳米（Z） | 0.15 nm (XY);0.05纳米（Z） | 0.2 nm (XY)， 0.1 nm (Z) | |
| 线性（3,4） | 0.02％（XY）;0.04％（Z） | 0.01％（XY）;0.02％（Z） | 0.01％（XY）;0.02％（Z） | |
| 双向重复性（5） | 4纳米（XY）;3纳米（Z） | 2 nm (XY);1纳米（Z） | 2 nm (XY);2 nm (Z) | |
| 直线 | 25nm的（XY）;50纳米（Z） | <10纳米（XY）;<20纳米（Z） | 10纳米（XY）;40纳米（Z） | |
| 2D平面度（在整个XY旅行） | 10纳米 | <5纳米 | 小于10纳米 | |
| 球场 | 10μrad(2.1弧秒)(XY) 6微弧度（1.2弧秒）（Z） |
2微弧度（0.4弧秒）（XY）;6微弧度（1.2弧秒）（Z） | 2乌拉特（0.4弧秒）（XY）;6乌拉特（1.2弧秒）（Z） | |
| 偏航 | 5μrad(1角秒)(XY) 5微弧度（1弧秒）（Z） |
10微弧度（2.1弧秒）（XY）;5微弧度（1弧秒）（Z） | 20乌拉特（4弧秒）（XY）;6乌拉特（1.2弧秒）（Z） | |
| 刚度(运动方向)（6） | 10 N /微米（XY）;25 N /μm的（Z） | 1.9 N /µm (XY);13 N /µm (Z) | 1.3 N /µm (XY);8.7 N /嗯(Z) | |
| 卸载共振频率（6） | 1850赫兹(XY);2200赫兹(Z) | 490赫兹（XY）;1425赫兹（Z） | 330赫兹（XY）;910赫兹（Z） | |
| 谐振频率（200克负荷）（6） | 950赫兹（XY）;1390赫兹（Z） | 350赫兹（XY）;910赫兹（Z） | 260赫兹(XY);670赫兹(Z) | |
| 最大有效载荷（7） | 1公斤 | 1公斤 | 3公斤 | |
| 最大加速度（空载）(8) | 400米/ s的2（XY）;2000米/ s的2(Z) | 115米/ s的2（XY）;2000米/ s的2(Z) | 35米/ s2 (XY);1000米/ s2 | |
| 移动质量（空载） | 0.24公斤（XY）;0.05公斤(Z) | 0.21公斤(XY);0.05公斤(Z) | 0.58公斤(XY);0.10公斤 | |
| 级质谱 | 0.53公斤 | 0.56公斤 | 1.3公斤 | |
| 材料 | 阳极氧化铝(9) | 阳极氧化铝(9) | 阳极氧化铝(9) | |
| 平均故障间隔时间 | 30000小时 | 30000小时 | 30000小时 | |
- 值的±10%。
- 有关分辨率的描述，请参阅Piezo工程参考部分4.2。
- 通过各阶段的验证(仅适用于闭环反馈模型)。
- 用外部计量装置在车厢上方约15毫米处测量。有关线性和精度规范的描述，请参阅压电工程参考部分4.1。
- 指定为1个西格玛（标准偏差）的值（闭环反馈仅型号）。双向重复性的描述见Piezo工程参考部分4.3。
- 值的±20%。
- 轴上加载上市。
- 列出最大加速度是舞台机械限制。可实现accleration是类放大器的选择和移动参数的函数。
- 外部元件被阳极化的铝。一些不锈钢组件在内部结构中使用。根据要求的其他材料。
- 列出的规格都是每轴线除非指定。
电气规格
| 模型 | QNP3-100XYAZ-030-10 | qnp3 - 100 xyaz - 100 - 10 | QNP3-150XYAZ-200-20 |
|---|---|---|---|
| 驱动系统 | 压电多层堆叠致动器 | ||
| 反馈 | 闭环:电容式传感器(-C) 开环：无（ - ） |
||
| 最大电压 | -30 V tÒ+ 150V | ||
| 压电堆叠电容（1） | 每轴4.6μF () (XY);2μF (Z) | 每轴3.2µF (XY);2µF (Z) | 6.4微法（XY，每轴）;4.8微法（Z） |
- 值±20％
推荐控制器
| 系综 | 乐团QLAB 合奏QDe 乐团QLE 合奏QL（1） |
| A3200 | Ndrive QLe Ndrive QL（1） |
- 除非注明，否则QLAB、QDe或QLe驱动器都需要达到所列规格。与QL驱动器一起使用时，请与Aerotech联系以了解具体规格。
外形尺寸
订购信息
QNP3系列二轴XYZ压电纳米级新万博英超h
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| QNP3-100XYAZ-030-10 | QNP3三轴XYZ压电纳米级，为30μm×30微米×新万博英超h10微米的闭环行程 |
| qnp3 - 100 xyaz - 100 - 10 | QNP3三轴XYZ压电纳米级，为100μm×100微新万博英超h米×10微米的闭环行程 |
| QNP3-150XYAZ-200-20 | QNP3三轴XYZ压电纳米级，为200μm×200微新万博英超h米×20微米的闭环行程 |
反馈（可选）
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| - c | 电容传感器的反馈 |
安装板（可选）
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -MP | 安装板适用于英制和米制的光学实验板 |
桌面(可选)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -TT1 | 实心米制台面，盖上光圈 |
集成（必需）
Aerotech提供标准和定制集成服务，帮助您尽快使系统全面运行。以下标准集成选项可用于此系统。如果您不确定需要什么级别的集成，或者您希望系统提供定制集成支持，请咨询Aerotech。
| μ-TAS | 集成—作为系统进行测试 将一组组件作为一个完整的系统进行测试、集成和编制文档(例如:驱动器、控制器和工作台)。这包括参数文件生成、系统调优和系统配置文档。 |
| -TAC | 集成 - 测试的组件 测试项目和个人项目为船一起分立元件的集成。这通常用于备件，零件，或项目，将不能一起使用。这些组件可以是或可以不是一个较大系统的一部分。 |