描述

设计特点

• 旅行范围从100至600μmμm可用
• 长设备生命周期
• 高精度无摩擦柔性制导系统
• 卓越的定位分辨率和线性度0.007％，以直接测量电容式传感器的选择
• 与其他QNP系列压电纳米定位安装兼容性
• 开环和真空版本

Aerotech的QNP™-系列压电纳米定位级提供了紧凑、高刚度新万博英超h封装的纳米级性能。各种旅行(100µm 600µm)和反馈选项使这个理想解决方案应用程序从显微镜光学对齐

高质量的包装

所述QNP压电级由正在使用有限元分析优化，以确保高的刚度和长元件寿命精确弯曲引导。将得到的设计提供了出色的刚性和共振频率实现高处理吞吐量和快速闭环响应。此外，这些阶段已经被设计为提供优良的几何性能（平直度和角度误差），而在同一时间最小化总体阶段封装尺寸。

高分辨率和定位精度

所有QNP压电阶段都采用独特的电容式传感器设计，其允许亚纳米级的分辨率和高线性度的闭环反馈选项。电容传感器直接测量定位滑架的输出，从而实现更高的精度和可重复性。

超精密控制

当与Aerotech的Q系列控制器和驱动器耦接，所述QNP压电纳米级演示亚纳米定位分辨率和定位稳定性（抖动），和高的定位带宽。新万博英超h软件选项，如Aerotech的动态控制工具箱和Motion设计软件包提供先进的主机且易于使用的工具，如学习控制，消谐，并指令整形，提供更好的跟踪误差和快人一步和结算的时间。

利用Aerotech的FlashConfig特性实现了参数的自动识别和标定。舞台被自动识别，所有的操作参数包括轴校准数据都被上传至控制器，确保安全、准确和真实的“即插即用”操作。

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设计的灵活性

Aerotech的QNP压电级可提供电容传感器反馈或无反馈(开环)。开环为需要紧凑尺寸、高动态和亚纳米定位分辨率，但不需要绝对定位精度和重复性的应用程序提供了一种经济有效的选择。开环设计也可用于通过外部反馈源(干涉仪、视觉系统、光电探测器等)控制压电位置的场合。

一个可选的安装板提供直接安装到英制或公制试验板的光学表。所述QNP系列还包括-L并且其中共同行进与转接板一起安装-XY阶段。

所有QNP压电阶段是应要求在真空编写的版本。

规范

机械规范⁽¹⁾

注:

1. 除非注明，否则所有的规格都以输出架为中心进行测量。
2. 值的±10%。
3. 请参阅分辨率的说明压电工程参考第4.2节。
4. 通过各阶段的验证(仅适用于闭环反馈模型)。
5. 见的线性度和精度规格说明压电技术参考4.1节。
6. 指定为1西格玛(标准差)值(仅闭环反馈模型)。看到压电工程参照第4.3节用于双向重复性的描述。
7. 值±20％。
8. 在轴线的载荷上市。
9. 需要选择适当的放大器来实现列出的值。
10. 外部元件为阳极化铝。一些不锈钢部件用于内部结构。其他要求提供的材料。

电气规格

注意:

1. 值±20％

推荐的控制器

注意:

1. 除非另有说明，需要QLAB，QDE或QLE驱动器来实现上市规格。联系艾特航空的规格与QL驱动器使用时。

维

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订购信息

QNP-Z系列单轴压电纳米定位台新万博英超h

反馈(可选)

安装板(可选)

集成(必需)

转接器板(作为单独的行项目订购)