ABL1500Z空气轴承直接驱动举升台
描述
设计特点
- 为高性能扫描和检测而设计
- 所有空气轴承表面上主动式空气预紧
- 线性编码器反馈提供了亚纳米级分辨率
- 高刚度的重型负荷和优良的几何性能
- 四种型号，行程从50到200mm
- 整体平衡
该ABL1500Z是ABL1500系列空气轴承阶段的垂直翻译版本。该ABL1500Z非常适合用在需要极高的精度偏差大负载和应用。
尖端制造，特别是在半导体和数据存储行业，要求定位公差超出现有技术的滚珠螺杆和机械轴承定位系统的能力。的ABL1500Z，其完全活性预紧力，特别高的刚度和良好的几何特征，是专门设计来满足这些需求。
空气轴承设计，高动态性能
在ABL1500Z结合两者上垂直和水平表面的空气在空气上的预载荷。相对的薄膜压力维持轴承标称间隙公差。这样的设计，除了可在一较大的表面积分配负载大空气支承面，导致具有优异的硬度的阶段，是理想的重或偏载。
Aerotech的专有的制造技术导致具有卓越的几何特征，其通过产生极好的俯仰，滚转，偏航，平直度和平面度的规格最大化性能的阶段。
零齿槽直线电机驱动
这一阶段背后的驱动力是Aerotech公司的BLMC系列无刷直线伺服电机。BLMC采用无铁forcer，这意味着没有齿轮和吸引力，导致无与伦比的流畅的运动。
没有维护
我们的全非接触式空气轴承、非接触式直线电机驱动和非接触式反馈装置确保了多年的免维护运行，达到了Aerotech设备所期望的高性能水平。由于在移动部件之间没有机械接触，ABL1500Z不会随着时间的推移而磨损或降低性能。使用寿命几乎是无限的，因为没有润滑-只有清洁，干燥气体-空气轴承是理想的洁净室和医疗应用。
电缆管理
我们仔细优化了电缆的弯曲半径，以保证多年无故障运行。在出现故障的异常情况下，艾特航空的模块化设计使得电缆更换快捷方便用最少的停机时间。
我们在CMS包中包括所有客户所需的电缆、空气软管等，以方便集成到最终系统中。两端完全连接，以便简单地集成到客户的机器中。
产品规格
机械规格
| 模型 | abl1500z - 050 | ABL1500Z-100 | abl1500z - 150 | ABL1500Z-200 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 旅行 | 50毫米 | 100毫米 | 150毫米 | 200毫米 | ||
| 精度（1） | E1 | 校准 | ±0.3µm | ±0.3µm | ±0.4微米 | ±0.5微米 |
| 标准 | ±2.0µm | ±3.0µm | ±5.0微米 | ±8.0µm | ||
| E3 | 校准 | ±0.2微米 | ±0.2微米 | ±0.3µm | ±0.5微米 | |
| 标准 | ±1.5微米 | ±2.5µm | ±4.0µm | ±6.0微米 | ||
| 双向重复性（1） | E2 | ±0.1μm的 | ±0.15µm | ±0.2微米 | ||
| E3 | ±0.1μm的 | ±0.15µm | ±0.2微米 | |||
| 直线（1） | ±0.4微米 | ±0.6微米 | ±0.8µm | ±1.0μm的 | ||
| 平面度（1） | ±0.4微米 | ±0.6微米 | ±0.8µm | ±1.0μm的 | ||
| 球场 | ±1个弧秒 | ±1.5弧秒 | ±2弧秒 | ±2.5弧秒 | ||
| 滚 | ±1个弧秒 | ±1.5弧秒 | ±2弧秒 | ±2.5弧秒 | ||
| 偏航 | ±1个弧秒 | ±1.5弧秒 | ±2弧秒 | ±2.5弧秒 | ||
| 最大速度 | 300mm / s时 | |||||
| 最大加速度 | 将2g（无负载） | |||||
| 最大力量(连续) | 93.6ñ | |||||
| 装载能力（2） | 15公斤 | |||||
| 运营压力 | 80psi的±5磅 | |||||
| 空气消耗量 | 第一阶段：24-30 SLPM @ 551千帕;动态平衡：60 SLPM最大 | |||||
| 移动质量(空载) | 5.9公斤(13.0磅) | |||||
| 级质谱 | 23.8公斤 | 26.6公斤 | 28.5公斤 | 30.5公斤 | ||
| 材料 | 铝 | |||||
| 平均故障间隔时间 | 20000小时 | |||||
- 每个阶段的认证。
- 列出了轴上加载的轴方向。
- 规格是用于测量25毫米桌面上述单轴系统。多轴系统的性能是有效载荷和工作点依赖性的。咨询工厂多轴或非标准应用。
- 为了保护空气轴承不受压力影响，建议在运动控制器/放大器ESTOP输入端安装一个在线压力开关。新万博英超h
- 空气供应必须保持清洁，干燥至0°F露点，并过滤到0.25微米或更好;在纯度99.9％的氮气推荐。
- 最大上轴长度为200mm的XY构造安装ABL1500时。
电气规格
| 驱动系统 | 无刷线性伺服电机 |
| 反馈 | 非接触式线性编码器（订单信息页面上看到的信号周期选项） |
| 最大总线电压 | 高达80 VDC |
| 限位开关 | 5v，常开 |
| 家里的开关 | 近中心 |
推荐控制器
| 多轴 | A3200 | Ndrive议员/NDRIVE CP/NDRIVE HLE /Npaq混频器 |
| 系综 | 乐团MP/合奏CP/乐团HLE/Epaq | |
| 单轴 | 独奏者 | 独奏MP/独奏者CP/独奏者对待 |
外形尺寸
-
ABL1500Z 
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订购信息
ABL1500Z空气轴承直接驱动线性阶段
旅游（必填）
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -050年 | 50 mm旅行 |
| -100 | 100毫米的旅行 |
| -150年 | 150毫米行程 |
| -200 | 200毫米旅游 |
反馈（必填）
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| e1 | 增量式线性编码器，1 Vpp放大正弦输出 |
| e2 | 增量线性编码器，0.1μm的TTL线路驱动器输出 |
| e3 | 高精度增量线性编码器，1 VPP放大正弦输出 |
电缆管理（必需）
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -CMS1 | 单轴电缆管理系统 |
| -CMS2 | 为ZT装配线缆管理系统 |
计量（必需）
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -PL1 | 计量学，未用性能图校准 |
| -PL2 | 使用性能图进行计量、校准(HALAR) |
集成（必需）
Aerotech提供标准和定制集成服务，帮助您尽快使系统全面运行。以下标准集成选项可用于此系统。如果您不确定需要什么级别的集成，或者您希望系统提供定制集成支持，请咨询Aerotech。
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| μ-TAS | 集成测试系统 将一组组件作为一个完整系统一起使用的测试、集成和文档化(例如:驱动器、控制器和阶段)。这包括参数文件生成、系统调优和系统配置文档。 |
| -TAC | 集成 - 测试的组件 测试项目和个人项目为船一起分立元件的集成。这通常用于备件，零件，或项目，将不能一起使用。这些组件可以是或可以不是一个较大系统的一部分。 |
附件（排序为一个独立的项目）
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| ALIGN-NPA | Non-precision XY组装 |
| ALIGN-PA10 | XY组装;10弧秒正交性。短行程级对准到7微米内的正交角。 |
| ALIGN-PA5 | XY组装;5弧秒正交性。短行程级对准到3微米内的正交性。 |
| ABF | 空气轴承过滤试剂盒 |