MPS50SL微型机械轴承螺杆驱动直线工作台
描述
设计特点
- 紧凑的50毫米宽度与旅行到50毫米
- 精密地球螺杆或丝杆传动
- 直流伺服或步进电机
- Crossed-roller轴承
- 高分辨率(0.1µm),重复性(±0.75µm),和准确性(±1.5µm)
- 高真空能力
- 紧凑的多轴配置
MPS50SL是一个紧凑的，高性能的线性定位阶段，是完美的局限在实验室，同时提供高可靠性所需的生产环境。在空间受限的应用中，它是测量、测试、精确对准和元件组装的理想选择。
精度高
精密地滚珠丝杆或丝杆提供了卓越的精度、可重复性和0.1微米的超精密定位分辨率能力。直流伺服马达配有旋转编码器。交叉滚子直线轴承提供平稳的旅行和良好的负载特性。
可选的真空制备
MPS50SL可与可选的真空制备到106托。它是完美的紧凑舞台选择为今天的要求真空应用在市场，如半导体制造和检查，光学制造和军事/航空航天。
高度可配置的
一个可选的面包板安装板提供直接安装到英语和公制面包板。任何模型都可以安装在XY配置中，并使用直角l -支架安装在XYZ配置中。它也可以直接安装到更大的MPS75SL舞台。
MPS50SL是MPS(微型定位级)家族的一员，该家族包括线性、旋转、测角器、垂直升降和Z级。两个或更多的阶段可以很容易地安装在一起，在许多组合使用标准化的安装模式和适配器板。
规范
机械规范
| 模型 | mps50sl - 025 | mps50sl - 050 | ||
|---|---|---|---|---|
| 旅行 | 25毫米 | 50毫米 | ||
| 精度 | 1.0 mm/rev滚珠丝杠 | 未校准 | ±3.0µm | ±4.0µm |
| 校准(1) | ±1.5µm | ±1.5µm | ||
| 0.5 mm/rev丝杠 | 未校准 | ±5.0µm | ±7.5µm | |
| 校准(1) | ±2.0µm | ±2.5µm | ||
| 分辨率(最小增量运动) | 1.0 mm/rev滚珠丝杠 | 0.1µm | 0.1µm | |
| 0.5 mm/rev丝杠 | 0.1µm | 0.1µm | ||
| 重复性(双向)(1) | 1.0 mm/rev滚珠丝杠 | ±0.75µm | ±0.75µm | |
| 0.5 mm/rev丝杠 | ±1.5µm | ±1.5µm | ||
| 平直度 | ±2.0µm | ±3.0µm | ||
| 平面度 | ±2.0µm | ±3.0µm | ||
| 最大速度 | 1.0 mm/rev滚珠丝杠 | 直流电机(m1) | 5毫米/秒 | 5毫米/秒 |
| 步进电机(平方米) | 1毫米/秒 | 1毫米/秒 | ||
| 0.5 mm/rev丝杠 | 直流电机(m1) | 2.5毫米/秒 | 2.5毫米/秒 | |
| 步进电机(平方米) | 0.5毫米/秒 | 0.5毫米/秒 | ||
| 负载能力(2) | 水平 | 5公斤 | 5公斤 | |
| 一边 | 5公斤 | 5公斤 | ||
| 垂直 | 2.5公斤 | 2.5公斤 | ||
| 阶段质量 | 0.85公斤 | 0.9公斤 | ||
| 材料 | 阳极电镀铝的身体 | |||
- 与Aerotech控制器。
- 载荷规格是单轴系统。
- 过大的占空比可能会影响级的精度。
- 规格为单轴系统测量桌面以上25毫米。
电气规格
| 模型 | 直流电机(m1) (标准和真空吸尘器) |
步进电机(平方米) |
|
|---|---|---|---|
| 驱动系统 | 14:1变速箱直流电刷伺服马达 | 24 VDC双极步进电机，齿轮箱43:1 | |
| 反馈 | 512线/转速旋转编码器 | N/A | |
| 电子解决方案 | 1.0 mm/rev滚珠丝杠 | 0.0348µm | 0.0484µm @ 480步/转速电动机分辨率 |
| 0.5 mm/rev丝杠 | 0.0174µm | 0.0242µm @ 480步/转速电动机分辨率 | |
| 最大总线电压 | 48 VDC | 48 VDC * | |
| 限位开关 | 5v，常闭 | 5v，常闭 | |
-
*与Aerotech控制系统。
推荐的控制器
| 模型 | ||
|---|---|---|
| 多轴 | A3200 | Npaq/Npaq先生/Ndrive议员 |
| 系综 | 整体实验室/ Epaq/Epaq先生/全体议员 | |
| 单轴 | 独奏者 | 独奏者议员 |
-
MPS50SL负荷曲线 
维
订购信息
MPS50SL微型机械轴承螺杆驱动直线工作台
旅游(必需)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -025年 | 25毫米移动级 |
| -050年 | 50毫米移动级 |
传动螺杆(必需)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| 废话 | 精密地滚珠丝杆，1毫米/转速 |
| - ls | 精密接地丝杆，0.5 mm/rev |
真空制备(可选)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| 高压 | 高真空准备至106托 |
电动机(必需)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| m1 | 直流伺服电动机 |
| 平方米 | 步进电机 |
安装板(可选)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| 国会议员 | 光学工作台安装板 |
计量(必需)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -PL0 | 无计量业绩图 |
| pl1 | 计量学，未用性能图校准 |
| -PL2 | 使用性能图进行计量、校准(HALAR) |
集成(必需)
Aerotech提供标准和定制集成服务，帮助您尽快使系统全面运行。以下标准集成选项可用于此系统。如果您不确定需要什么级别的集成，或者您希望系统提供定制集成支持，请咨询Aerotech。
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| 助教 | 集成测试系统 将一组组件作为一个完整系统一起使用的测试、集成和文档化(例如:驱动器、控制器和阶段)。这包括参数文件生成、系统调优和系统配置文档。 |
| tac | 集成——作为组件进行测试 将单个项目作为单独的组件一起进行测试和集成。这通常用于备件、替换件或不会一起使用的项目。这些组件可能是一个更大的系统的一部分，也可能不是。 |
附件(作为单独的行项目订购)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| HDZ-MPS50SL | 右尖括号，MPS50SL |
| HDZ-MPS50SL-HV | 直角支架，MPS50SL，高真空预备至106托 |