MPS75SL微型机械轴承丝杠驱动的直线运动平台
描述
设计特点
- 紧凑的75毫米宽度与旅行到100毫米
- 精密研磨滚珠丝杆传动
- 直流伺服电机或步进电机
- 抗蠕变交叉滚子轴承
- 高分辨率（0.1微米），重复性（±0.75微米）和准确度（±1.0微米）
- 高真空兼容
- 可选波纹管waycovers
- 紧凑的多轴配置
所述MPS75SL是一个紧凑的，高性能的线性定位阶段，是完美的实验室的限制，同时提供在生产环境中所要求的高可靠性。它是用于测量，检测，精确的对准和安装件组件的理想选择。
高精确度
精密地滚球丝杆提供了卓越的精度，重复性和超细定位分辨率能力到0.1微米。直流伺服马达装有旋转编码器。抗蠕变交叉滚子直线轴承提供平稳的旅行和良好的负载特性。
可选真空准备
MPS75SL可提供可选的真空制备至106托。它是完美的紧凑阶段的选择，为今天的市场需求的真空应用，如半导体制造和检查，光学制造和军事/航空航天。
高度可配置
可选的线路板安装板提供了直接安装到英制和公制面包板。波纹管waycovers可用于在多尘的环境中使用。任何模型的可被安装在XY配置，并与直角L形托架，在XYZ配置。它也可以安装有较小MPS50SL阶段。
该MPS75SL是MPS（微型定位平台）家族线性，旋转式，测角仪和垂直升降机和Z级中的构件。两个或更多个阶段可以方便地在使用标准化安装模式和适配器板许多组合安装在一起。
产品规格
机械规格
| 模型 | MPS75SL-025 | MPS75SL-050 | mps75sl - 075 | MPS75SL-100 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 旅行 | 25毫米 | 50毫米 | 75毫米 | 100毫米 | ||
| 精度 | 未校准 | ±2.5µm | ±3.0µm | ±3.5微米 | ±4.0μm的 | |
| 与波纹管未校准 | ±3.5微米 | ±4.0μm的 | ±4.5微米 | ±5.0微米 | ||
| 校准（1） | ±1.0μm的 | ±1.0μm的 | ±1.5微米 | ±1.5微米 | ||
| 分辨率（最小增量运动） | 0.1微米 | |||||
| 重复性(双向)（1） | ±0.75µm(标准);±1.2µm(波纹管) | |||||
| 直线 | ±2.0µm | ±2.0µm | ±3.0µm | ±3.0µm | ||
| 平面度 | ±2.0µm | ±2.0µm | ±3.0µm | ±3.0µm | ||
| 最大速度 | 1.0毫米/牧师 滚珠丝杠 |
直流电动机（-M1） | 50毫米/秒 | 50毫米/秒 | 50毫米/秒 | 35毫米/ s的 |
| 步进电机（-M2） | 30毫米/ s的 | 30毫米/ s的 | 30毫米/ s的 | 30毫米/ s的 | ||
| 装载能力（2） | 水平 | 15公斤 | ||||
| 侧 | 15公斤 | |||||
| 垂直 | 4公斤 | |||||
| 级质谱 | 1.7公斤 | 1.8公斤 | 1.9公斤 | 2.0公斤 | ||
| 材料 | 阳极氧化铝主体 | |||||
- 随着艾特航空控制器。
- 载荷规格是单轴系统。
- 过度的占空比可能会影响舞台的准确性。
- 规格是用于测量25毫米桌面上述单轴系统。
- 联系工厂与波纹管的选择阶段的规格。
电气规格
| 模型 | 直流电动机（-M1） （标准和VAC） |
步进电机（-M2） （标准和VAC） |
|---|---|---|
| 驱动系统 | 直流伺服电动机刷 | 24 VDC双极步进电机 |
| 反馈 | 万线/转旋转编码器 | N / A |
| 电子解决方案 | 0.025微米 | 0.025微米@ 40000步/转电机分辨率 |
| 最大总线电压 | 48 VDC | 48 VDC * |
| 限位开关 | 5V，常闭 | |
-
*具有艾特航空控制系统。
推荐控制器
| 模型 | ||
|---|---|---|
| 多轴 | A3200 | Npaq/Npaq MR/Ndrive议员 |
| 系综 | 合奏LAB /Epaq/Epaq MR/乐团MP | |
| 单轴 | 独奏者 | 独奏MP |
-
MPS75SL负荷曲线 
外形尺寸
订购信息
MPS75SL微型机械轴承丝杠驱动的直线运动平台
旅游（必填）
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -025 | 25毫米行驶档 |
| -050年 | 50毫米行程阶段 |
| -075年 | 75毫米移动级 |
| -100 | 100毫米行程级 |
真空制备（可选）
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| 高压 | 高真空准备至106托 |
电机（必需）
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -M1 | 直流伺服电动机 |
| -M2 | 步进电机 |
波纹管（可选）
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -BL | 波纹管waycover |
-
注意:波纹管路盖不能与-HV真空准备一起使用。
安装板（可选）
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -MP | 光学平台安装板 |
计量（必需）
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -PL0 | 无计量性能曲线 |
| -PL1 | 计量学，未用性能图校准 |
| -PL2 | 用性能图校准(HALAR)的计量学 |
集成（必需）
Aerotech提供标准和定制集成服务，帮助您尽快使系统全面运行。以下标准集成选项可用于此系统。如果您不确定需要什么级别的集成，或者您希望系统提供定制集成支持，请咨询Aerotech。
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| μ-TAS | 集成—作为系统进行测试 测试，集成，和一组部件作为将要一起使用的完整体系的文件（例如：驱动器，控制器，和阶段）。这包括参数文件生成，系统调谐，以及系统结构的文档。 |
| -TAC | 集成 - 测试的组件 测试项目和个人项目为船一起分立元件的集成。这通常用于备件，零件，或项目，将不能一起使用。这些组件可以是或可以不是一个较大系统的一部分。 |
配件(单独订购)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| HDZ-MPS75SL | 直角支架，MPS75SL |
| HDZ-MPS75SL-HV | 直角支架，MPS75SL，高真空预备至106托 |