MPS75SLE微型机械轴承螺杆驱动线性级带线性反馈
描述
设计特点
- 紧凑的舞台与旅行到100毫米
- 低热膨胀玻璃刻度线性编码器
- 精密研磨滚珠丝杆传动
- 直流伺服或步进电机
- 抗蠕动crossed-roller轴承
- 高分辨率(0.025µm),重复性(±0.1µm)和准确性(±0.75µm)
- 可选的波纹管waycovers
- 紧凑的多轴配置
Aerotech的MPS75SLE是一种紧凑、高性能的线性定位平台,通过线性编码器提供直接的测量反馈。MPS75SLE是光学定位、表面测量传感器z轴定位或高精度对准的理想高精度平台。多轴舞台配置可以很容易地组装与其他MPS线性和旋转阶段使用大量的适配器托架和安装兼容性固有的整个MPS舞台家族。
极其精确的设计
精密研磨,预加载滚珠丝杆与线性编码器相结合,提供了卓越的精度,重复性和25纳米的定位分辨率能力。抗蠕变交叉滚子轴承提供了特别平稳的旅行和高负荷能力在一个紧凑的包。
与使用钢(13ppm / C)或玻璃磅秤(8ppm / C)进行完美呈现的竞争性设计不同,MPS75SLE拥有低热膨胀(3.3 ppm/ C)精度的玻璃磅秤,可实现长时间高精度、可重复定位。线性编码器可与放大正弦(1 Vpp)或50 nm TTL数字输出方便地集成与所有标准控制器。
高度可配置的
MPS75SLE马达选项包括带有高分辨率旋转编码器的直流伺服马达或步进马达。就像MPS75SL,狼疮是可用的和没有可选的风箱路覆盖。
一个可选的安装板提供直接安装到英国和米制光学实验板。所有MPS级的固有安装兼容性允许在多轴布置中进行简单的安装。
规范
机械规范
模型 | mps75sle - 025 | mps75sle - 050 | mps75sle - 075 | mps75sle - 100 | ||
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旅行 | 25毫米 | 50毫米 | 75毫米 | 100毫米 | ||
精度 | 未校准 | ±1.75µm | ±2.25µm | ±2.75µm | ±3.25µm | |
无标定与波纹管 | ±2.75µm | ±3.25µm | ±3.75µm | ±4.25µm | ||
校准(1) | ±0.75µm | ±0.75µm | ±1.0µm | ±1.0µm | ||
分辨率(最小增量运动)(2) | 0.025µm | |||||
重复性(双向)(2) | ±0.1µm(标准);±0.2µm(波纹管) | |||||
平直度 | ±2.0µm | ±2.0µm | ±3.0µm | ±3.0µm | ||
平面度 | ±2.0µm | ±2.0µm | ±3.0µm | ±3.0µm | ||
最大速度 | 1.0毫米/牧师 滚珠螺杆 |
直流电机(m1) | 50毫米/秒 | 50毫米/秒 | 50毫米/秒 | 35毫米/秒 |
步进电机(平方米) | 30毫米/秒 | 30毫米/秒 | 30毫米/秒 | 30毫米/秒 | ||
负载能力(3) | 水平 | 15公斤 | ||||
一边 | 15公斤 | |||||
垂直 | 4公斤 | |||||
阶段质量 | 2.3公斤 | 2.4公斤 | 2.5公斤 | 2.6公斤 | ||
材料 | 阳极电镀铝的身体 |
- 可与航空技术控制器。
- 分辨率和可重复性规范适用于在双闭环模式下运行的系统,在旋转编码器和线性编码器上的反馈分辨率均为25nm。新万博最新版本
- 载荷规格是单轴的。
- 规格为单轴系统测量25毫米以上的桌面。
- 如果需要带波纹管的舞台规格,请与工厂联系。
电气规格
模型 | 直流电机 | 步进电机 |
---|---|---|
驱动系统 | 直流伺服电动机刷 | 24 VDC双极步进电机 |
反馈(线性编码器) | 非接触线性编码器; 放大正弦和TTL版本可用 |
|
反馈(旋转电机编码器) | 10,000行/转速旋转编码器 | N /一个 |
最大总线电压 | 48 VDC(1) | |
旋转编码器的电子分辨率 | 0.025µm | 0.025µm @ 40000步/转速电动机分辨率 |
线性编码器的电子分辨率 | 20µm基本0.05µm LTX100选项; 放大正弦(-AS)选项允许电子分辨率低于1纳米新万博最新版本(2) |
|
限位开关 | 5 v,常闭 |
- 与Aerotech控制系统。
- 为了获得最佳性能,Aerotech建议使用0.025µm最高分辨率在使用线性编码器作为伺服反馈回路的一部分(例如,dual-loop)。
推荐的控制器
模型 | ||
---|---|---|
多轴 | A3200 | Npaq/Npaq先生/Ndrive议员 |
系综 | 整体实验室/Epaq/Epaq先生/全体议员 | |
单轴 | 独奏者 | 独奏者议员 |
维
订购信息
MPS75SLE微型机械轴承螺杆驱动线性级带线性反馈
直接线性反馈(需要)
选项 | 描述 |
---|---|
e1 | 增量线性编码器;1 Vpp |
e2 | 增量线性编码器;0.05µm数字TTL输出 |
旅游(必需)
选项 | 描述 |
---|---|
-025年 | 25毫米移动级 |
-050年 | 50毫米行程级 |
-075年 | 75毫米移动级 |
-100年 | 100毫米行程级 |
电动机(必需)
选项 | 描述 |
---|---|
m1 | 直流伺服电动机 |
平方米 | 步进电机 |
波纹管(可选)
选项 | 描述 |
---|---|
提单 | 波纹管waycover |
安装板(可选)
选项 | 描述 |
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国会议员 | 光学表安装板 |
计量(必需)
选项 | 描述 |
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-PL0 | 没有计量员业绩图 |
pl1 | 计量学,未用性能图校准 |
-PL2 | 用性能图校准(HALAR)的计量学 |
集成(必需)
Aerotech提供标准和定制集成服务,帮助您尽快使系统全面运行。以下标准集成选项可用于此系统。如果您不确定需要什么级别的集成,或者您希望系统提供定制集成支持,请咨询Aerotech。
选项 | 描述 |
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助教 | 集成—作为系统进行测试 将一组组件作为一个完整的系统进行测试、集成和编制文档(例如:驱动器、控制器和工作台)。这包括参数文件生成、系统调优和系统配置文档。 |
tac | 集成——作为组件进行测试 将单个项目作为一起发布的离散组件进行测试和集成。这通常用于备用零件、替换零件或不会一起使用的项目。这些组件可能是,也可能不是更大系统的一部分。 |
配件(单独订购)
选项 | 描述 |
---|---|
HDZ-MPS75SL | 右角括号,MPS75SL |