ABL1500空气轴承直接驱动线性阶段
描述
设计特点
- 专为高性能扫描和检查
- 所有的空气轴承表面上的主动式空气预紧
- 线性编码器反馈提供了亚纳米级分辨率
- 高刚度重载荷以及优良的几何性能
- 旅行最长500mm
尖端制造,特别是在半导体和数据存储行业,要求定位公差超出现有技术的滚珠螺杆和机械轴承定位系统的能力。所述ABL1500空气轴承阶段,其完全活性预紧力,特别高的刚度和良好的几何特征是专门设计来满足这些需求。
空气轴承设计,高动态性能
在ABL1500结合两者上垂直和水平表面的空气在空气上的预载荷。相对的薄膜压力维持轴承标称间隙公差。这样的设计,除了可在一较大的表面积分配负载大的空气轴承表面,导致具有优异的硬度的阶段,是理想的重或偏载。
专有的制造技术导致具有非常卓越的几何特征的阶段。空气轴承具有最大化性能固有平均效应。该薄膜将填充小表面空隙,并允许其它不规则性。这种特性的产率优异的俯仰,滚转,偏航,平直度和平面度的规格。
直线电机驱动
后面这个阶段的驱动力是Aerotech的BLMC系列无刷线性伺服电机。艾特航空的悠久历史和经验,作为一个电机制造商则体现了这种设计。所述BLMC利用无铁心动子,这意味着存在零齿槽和没有吸引力,从而导致运动的无与伦比的平滑度。能够产生高的力和速度,所述BLMC表示功率和性能的最佳组合。
零维护
我们完全非接触式空气轴承,非接触式直线电机驱动器和非接触反馈装置确保年内免维护操作在预期的艾特航空设备的高性能水平。因为活动元件之间没有机械接触,所以ABL1500经历随时间的性能没有磨损或减少。使用寿命几乎是无限的,并因为没有润滑性 - 只有清洁,干燥的气体 - 空气轴承是理想的洁净室和医疗应用。
电缆管理
我们仔细优化了电缆的弯曲半径,以保证多年无故障运行。在出现故障的异常情况下,艾特航空的模块化设计使得电缆更换快捷方便用最少的停机时间。我们包括所有客户所需的电缆,空气软管等,在我们的CMS束,以便于融入最终的系统。两端都完全连接器连接于简单地集成到客户的机器。
产品规格
机械规格
模型 | ABL1500-050 | ABL1500-100 | ABL1500-200 | ||
---|---|---|---|---|---|
旅行 | 50毫米 | 100毫米 | 200毫米 | ||
准确性(1) | E1 | 校准 | ±0.3μm的 | ±0.3μm的 | ±0.5微米 |
标准 | ±2.0微米 | ±4.0μm的 | ±8.0微米 | ||
E3 | 校准 | ±0.2微米 | ±0.2微米 | ±0.4微米 | |
标准 | ±1.0μm的 | ±2.0微米 | ±5.0微米 | ||
重复性 (双向)(1) |
E1 | ±0.1μm的 | ±0.2微米 | ||
E3 | ±0.05微米 | ±0.05微米 | ±0.1μm的 | ||
直线(1) | ±0.25微米 | ±0.4微米 | ±0.5微米 | ||
平整度(1) | ±0.25微米 | ±0.4微米 | ±0.5微米 | ||
沥青 | ±0.5弧秒 | ±1个弧秒 | ±2弧秒 | ||
滚 | ±0.5弧秒 | ±1个弧秒 | ±2弧秒 | ||
偏航 | ±0.5弧秒 | ±1个弧秒 | ±2弧秒 | ||
最大速度 | 2米/秒 | ||||
最大加速度 | 将2g(无负载) | ||||
最大的力(连续) | 93.6ñ | ||||
装载能力(2) | 横 | 35公斤 | |||
侧 | 25公斤 | ||||
运营压力 | 80psi的±5磅 | ||||
耗气量 | 24-30 SLPM @ 551千帕(0.85-1.06 SCFM @ 5.51巴) | ||||
移动质量(空载) | 5.1公斤 | ||||
级质谱 | 14.7公斤 | 16.0公斤 | 18.6公斤 | ||
材料 | 铝 | ||||
MTBF(平均故障间隔时间) | 30000小时 |
- 每个阶段的认证。
- 对于轴上载荷轴方向列出。
- 规格是用于测量25毫米桌面上述单轴系统。多轴系统的性能是有效载荷和工作点依赖性的。咨询工厂多轴或非标准应用。
- 到针对保护空气轴承下压,绑在运动控制器直列压力开关/建议放大器ESTOP输入。新万博英超h
- 空气供应必须保持清洁,干燥至0°F露点,并过滤到0.25微米或更好;在纯度99.9%的氮气推荐。
- 对于XY配置中,最大上轴行程为200毫米。对于上部轴行进大于200毫米,但等于或小于500mm,一个ABL1500WB需要作为下部轴。
模型 | ABL1500-300 | ABL1500-400 | ABL1500-500 | ||
---|---|---|---|---|---|
旅行 | 300毫米 | 400毫米 | 500毫米 | ||
准确性(1) | E1 | 校准 | ±0.5微米 | ±0.6微米 | ±0.6微米 |
标准 | ±12.0微米 | ±16.0微米 | ±20.0微米 | ||
E3 | 校准 | ±0.4微米 | ±0.5微米 | ±0.5微米 | |
标准 | ±5.0微米 | ±5.0微米 | ±5.0微米 | ||
重复性 (双向)(1) |
E1 | ±0.2微米 | ±0.3μm的 | ||
E3 | ±0.15微米 | ±0.2微米 | |||
直线(1) | ±0.75微米 | ±1.5微米 | ±2.0微米 | ||
平整度(1) | ±0.75微米 | ±1.5微米 | ±2.0微米 | ||
沥青 | ±3弧秒 | ±4弧秒 | ±5弧秒 | ||
滚 | ±3弧秒 | ±4弧秒 | ±5弧秒 | ||
偏航 | ±3弧秒 | ±4弧秒 | ±5弧秒 | ||
最大速度 | 2米/秒 | ||||
最大加速度 | 将2g(无负载) | ||||
最大的力(连续) | 93.6ñ | ||||
装载能力(2) | 横 | 35公斤 | |||
侧 | 25公斤 | ||||
运营压力 | 80psi的±5磅 | ||||
耗气量 | 24-30 SLPM @ 551千帕(0.85-1.06 SCFM @ 5.51巴) | ||||
移动质量(空载) | 5.1公斤 | ||||
级质谱 | 21.3公斤 | 23.9公斤 | 26.5公斤 | ||
材料 | 铝 | ||||
MTBF(平均故障间隔时间) | 30000小时 |
- 每个阶段的认证。
- 对于轴上载荷轴方向列出。
- 规格是用于测量25毫米桌面上述单轴系统。多轴系统的性能是有效载荷和工作点依赖性的。咨询工厂多轴或非标准应用。
- 到针对保护空气轴承下压,绑在运动控制器直列压力开关/建议放大器ESTOP输入。新万博英超h
- 空气供应必须保持清洁,干燥至0°F露点,并过滤到0.25微米或更好;在纯度99.9%的氮气推荐。
- 对于XY配置中,最大上轴行程为200毫米。对于上部轴行进大于200毫米,但等于或小于500mm,一个ABL1500WB需要作为下部轴。
电气规格
驱动系统 | 无刷线性伺服电机 |
反馈 | 非接触式线性编码器(订单信息页面上看到的信号周期选项) |
最大总线电压 | 高达80 VDC |
限位开关 | 5 V,常闭 |
首页开关 | 近中心 |
推荐控制器
多轴 | A3200 | NDRIVE MP/NDRIVE CP/NDRIVE HLE/Npaq MXR |
合奏 | 乐团MP/乐团CP/乐团HLE/Epaq | |
单轴 | 独奏者 | 独奏MP/独奏CP/独奏HLE |
外形尺寸
订购信息
ABL1500空气轴承直接驱动线性阶段
旅游(必填)
选项 | 描述 |
---|---|
-050 | 50毫米行程 |
-100 | 百毫米行程 |
-200 | 200毫米旅游 |
-300 | 300毫米旅游 |
-400 | 400毫米旅游 |
-500 | 500毫米旅游 |
反馈(必填)
选项 | 描述 |
---|---|
-E1 | 增量线性编码器,1 VPP放大正弦输出 |
-E2 | 增量线性编码器,0.1μm的TTL线路驱动器输出 |
-E3 | 高精度增量线性编码器,1 VPP放大正弦输出 |
电缆管理(必需)
选项 | 描述 |
---|---|
-CMS1 | 单轴电缆管理系统 |
-CMS2 | 为XY装配线缆管理系统 |
-CMS3 | 用于Y轴电缆管理系统,只有上部轴线 |
-CMS4 | 对于YZ电缆管理系统组件,上只轴线 |
计量(必需)
选项 | 描述 |
---|---|
-PL1 | 计量,具有性能地块未校准 |
-PL2 | 计量,校准(HALAR)与性能曲线 |
集成(必需)
以帮助艾特航空提供标准和定制集成服务你尽快系统全面投入运作。以下标准的集成选项可用于这个系统。请咨询艾特如果您不确定需要什么样的集成水平,或者如果你希望你的系统定制集成支持。
选项 | 描述 |
---|---|
μ-TAS | 集成 - 测试的系统 测试,集成,和一组部件作为将要一起使用的完整体系的文件(例如:驱动器,控制器,和阶段)。这包括参数文件生成,系统调谐,以及系统结构的文档。 |
-TAC | 集成 - 测试的组件 测试项目和个人项目为船一起分立元件的集成。这通常用于备件,零件,或项目,将不能一起使用。这些组件可以是或可以不是一个较大系统的一部分。 |
附件(排序为一个独立的项目)
描述 | |
---|---|
ALIGN-NPA | 非精密组装XY |
ALIGN-PA10 | XY组件;10弧秒的正交性。对齐在7微米正交的短行程阶段。 |
ALIGN-PA5 | XY组件;5弧秒的正交性。排列在3个微米正交的短行程阶段。 |
ABF | 空气轴承过滤试剂盒 |