ABL1500空气轴承直接驱动线性阶段
描述
设计特点
- 专为高性能扫描和检查
- 所有的空气轴承表面上的主动式空气预紧
- 线性编码器反馈提供亚纳米分辨率
- 高刚度的重型负荷和优良的几何性能
- 旅行最长500mm
领先的制造业,特别是在半导体和数据存储行业,要求定位公差超过传统的滚珠丝杆和机械轴承定位系统的能力。ABL1500空气轴承阶段,其充分主动预载,特别高的刚度和优良的几何特性是专门为满足这些要求。
空气轴承设计,高动态性能
在ABL1500结合两者上垂直和水平表面的空气在空气上的预载荷。相对的薄膜压力维持轴承标称间隙公差。这样的设计,除了可在一较大的表面积分配负载大的空气轴承表面,导致具有优异的硬度的阶段,是理想的重或偏载。
专有的制造技术导致了一个无与伦比的几何特征的阶段。空气轴承有一个固有的平均效应,使性能最大化。该薄膜将填补小的表面空隙,并允许其他不规则。这一特点产生优越的俯仰,滚,偏航,直线度和平面规格。
直线电机驱动
后面这个阶段的驱动力是Aerotech的BLMC系列无刷线性伺服电机。艾特航空的悠久历史和经验,作为一个电机制造商则体现了这种设计。所述BLMC利用无铁心动子,这意味着存在零齿槽和没有吸引力,从而导致运动的无与伦比的平滑度。能够产生高的力和速度,所述BLMC表示功率和性能的最佳组合。
零维护
我们的全非接触式空气轴承、非接触式直线电机驱动和非接触式反馈装置确保了多年的免维护运行,达到了航空技术设备所期望的高性能水平。由于在移动的元件之间没有机械接触,ABL1500不会随着时间的推移而磨损或降低性能。使用寿命几乎是无限的,因为没有润滑-只有清洁,干燥气体-空气轴承是理想的洁净室和医疗应用。
有线电视管理
我们仔细优化了电缆的弯曲半径,以保证多年无故障运行。在出现故障的异常情况下,艾特航空的模块化设计使得电缆更换快捷方便用最少的停机时间。我们包括所有客户所需的电缆,空气软管等,在我们的CMS束,以便于融入最终的系统。两端都完全连接器连接于简单地集成到客户的机器。
规范
机械规范
模型 | abl1500 - 050 | abl1500 - 100 | ABL1500-200 | ||
---|---|---|---|---|---|
旅行 | 50毫米 | 100毫米 | 200毫米 | ||
准确性(1) | E1 | 校准 | ±0.3μm的 | ±0.3μm的 | ±0.5µm |
标准 | ±2.0微米 | ±4.0μm的 | ±8.0微米 | ||
E3 | 校准 | ±0.2µm | ±0.2µm | ±0.4µm | |
标准 | ±1.0µm | ±2.0微米 | ±5.0µm | ||
重复性 (双向)(1) |
E1 | ±0.1µm | ±0.2µm | ||
E3 | ±0.05µm | ±0.05µm | ±0.1µm | ||
平直度(1) | ±0.25微米 | ±0.4µm | ±0.5µm | ||
平整度(1) | ±0.25微米 | ±0.4µm | ±0.5µm | ||
沥青 | ±0.5弧秒 | ±1角秒 | ±2弧秒 | ||
卷 | ±0.5弧秒 | ±1角秒 | ±2弧秒 | ||
偏航 | ±0.5弧秒 | ±1角秒 | ±2弧秒 | ||
最大速度 | 2米/秒 | ||||
最大加速度 | 2g(空载) | ||||
最大的力(连续) | 93.6 N | ||||
负载能力(2) | 横 | 35公斤 | |||
侧 | 25公斤 | ||||
操作压力 | 80psi±5psig | ||||
耗气量 | 24-30 SLPM @ 551 kPa (0.85-1.06 SCFM @ 5.51 bar) | ||||
移动质量(空载) | 5.1公斤 | ||||
阶段质量 | 14.7公斤 | 16.0公斤 | 18.6公斤 | ||
材料 | 铝 | ||||
MTBF(平均故障间隔时间) | 30000小时 |
- 每一阶段认证。
- 对于轴上载荷轴方向列出。
- 规格为单轴系统测量25毫米以上的桌面。多轴系统的性能取决于负载和工作点。对于多轴或非标准应用,请咨询工厂。
- 到针对保护空气轴承下压,绑在运动控制器直列压力开关/建议放大器ESTOP输入。新万博英超h
- 空气供给必须清洁,干燥为0°F露点和过滤0.25µm或更好;建议氮的纯度为99.9%。
- 对于XY配置,最大上轴行程是200毫米。如果上轴的行程大于200毫米,但等于或小于500毫米,则需要一个ABL1500WB作为下轴。
模型 | abl1500 - 300 | ABL1500-400 | ABL1500-500 | ||
---|---|---|---|---|---|
旅行 | 300毫米 | 400毫米 | 500毫米 | ||
准确性(1) | E1 | 校准 | ±0.5µm | ±0.6µm | ±0.6µm |
标准 | ±12.0µm | ±16.0微米 | ±20.0µm | ||
E3 | 校准 | ±0.4µm | ±0.5µm | ±0.5µm | |
标准 | ±5.0µm | ±5.0µm | ±5.0µm | ||
重复性 (双向)(1) |
E1 | ±0.2µm | ±0.3μm的 | ||
E3 | ±0.15微米 | ±0.2µm | |||
平直度(1) | ±0.75µm | ±1.5µm | ±2.0微米 | ||
平整度(1) | ±0.75µm | ±1.5µm | ±2.0微米 | ||
沥青 | ±3弧秒 | ±4弧秒 | ±5弧秒 | ||
卷 | ±3弧秒 | ±4弧秒 | ±5弧秒 | ||
偏航 | ±3弧秒 | ±4弧秒 | ±5弧秒 | ||
最大速度 | 2米/秒 | ||||
最大加速度 | 2g(空载) | ||||
最大的力(连续) | 93.6 N | ||||
负载能力(2) | 横 | 35公斤 | |||
侧 | 25公斤 | ||||
操作压力 | 80psi±5psig | ||||
耗气量 | 24-30 SLPM @ 551 kPa (0.85-1.06 SCFM @ 5.51 bar) | ||||
移动质量(空载) | 5.1公斤 | ||||
阶段质量 | 21.3公斤 | 23.9公斤 | 26.5公斤 | ||
材料 | 铝 | ||||
MTBF(平均故障间隔时间) | 30000小时 |
- 每一阶段认证。
- 对于轴上载荷轴方向列出。
- 规格为单轴系统测量25毫米以上的桌面。多轴系统的性能取决于负载和工作点。对于多轴或非标准应用,请咨询工厂。
- 到针对保护空气轴承下压,绑在运动控制器直列压力开关/建议放大器ESTOP输入。新万博英超h
- 空气供给必须清洁,干燥为0°F露点和过滤0.25µm或更好;建议氮的纯度为99.9%。
- 对于XY配置,最大上轴行程是200毫米。如果上轴的行程大于200毫米,但等于或小于500毫米,则需要一个ABL1500WB作为下轴。
电气规格
驱动系统 | 无刷线性伺服电动机 |
反馈 | 非接触式线性编码器(参见订单信息页面上的信号周期选项) |
最大总线电压 | 高达80伏直流电 |
限位开关 | 5v,常闭 |
首页开关 | 在中心附近 |
推荐的控制器
多轴 | A3200 | NDRIVE MP/Ndrive CP/NDRIVE HLE/Npaq MXR |
合奏 | 全体议员/乐团CP/整体对待/Epaq | |
单轴 | 独奏者 | 独奏者议员/独奏CP/独奏HLE |
维
订购信息
ABL1500空气轴承直接驱动线性阶段
旅游(必需)
选项 | 描述 |
---|---|
-050 | 50毫米行程 |
-100年 | 百毫米行程 |
-200年 | 200毫米的旅行 |
-300年 | 300毫米旅游 |
-400 | 400毫米的旅行 |
-500 | 500毫米旅游 |
反馈(必需)
选项 | 描述 |
---|---|
-E1 | 增量线性编码器,1 VPP放大正弦输出 |
-E2 | 增量线性编码器,0.1µm TTL线路驱动器输出 |
-E3 | 高精度增量式线性编码器,1 Vpp放大正弦输出 |
电缆管理(要求)
选项 | 描述 |
---|---|
-CMS1 | 单轴电缆管理系统 |
-CMS2 | 为XY装配线缆管理系统 |
-CMS3 | 用于Y轴电缆管理系统,只有上部轴线 |
-CMS4 | 电缆管理系统为YZ组装,上轴只 |
计量(必需)
选项 | 描述 |
---|---|
pl1 | 计量,具有性能地块未校准 |
-PL2 | 计量,校准(HALAR)与性能曲线 |
集成(必需)
以帮助艾特航空提供标准和定制集成服务你尽快系统全面投入运作。以下标准的集成选项可用于这个系统。请咨询艾特如果您不确定需要什么样的集成水平,或者如果你希望你的系统定制集成支持。
选项 | 描述 |
---|---|
助教 | 集成 - 测试的系统 测试,集成,和一组部件作为将要一起使用的完整体系的文件(例如:驱动器,控制器,和阶段)。这包括参数文件生成,系统调谐,以及系统结构的文档。 |
tac | 集成——作为组件进行测试 将单个项目作为一起发布的离散组件进行测试和集成。这通常用于备用零件、替换零件或不会一起使用的项目。这些组件可能是,也可能不是更大系统的一部分。 |
附件(作为单独的行项目订购)
描述 | |
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ALIGN-NPA | 非精密组装XY |
ALIGN-PA10 | XY组件;10弧秒的正交性。对齐在7微米正交的短行程阶段。 |
ALIGN-PA5 | XY组件;5弧秒的正交性。排列在3个微米正交的短行程阶段。 |
沛富 | 空气轴承过滤设备 |